[發明專利]一種薄膜厚度檢測方法

有效

• 申請號: 201811103276.7
• 申請日: 2018-09-20
• 公開（公告）號: CN109084694B
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 王順
• 申請（專利權）人: 青島華泰瑞特機電科技有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明屬于薄膜測量技術領域，具體的說是一種薄膜厚度檢測方法，該方法包括以下步驟：S1，將待檢測的薄膜固定在薄膜厚度檢測儀上；S2，啟動S1中的薄膜厚度檢測儀對薄膜的厚度進行檢測；S3，S2中檢測完成后，對檢測后的薄膜進行加熱，并利用溫度傳感器對薄膜的溫度進行檢測，當薄膜的整體周圍環境溫度達到預設值時，再次對薄膜的厚度進行檢測；S4，改變薄膜的溫度，測量多組薄膜在不同溫度下的厚度。本方法通過采用薄膜厚度檢測儀實現對薄膜厚度的測量，且通過改變薄膜周圍整體的溫度，實現在不同溫度下對薄膜厚度的測量，從而便于研究薄膜受溫度的影響規律。

技術領域

本發明屬于薄膜測量技術領域，具體的說是一種薄膜厚度檢測方法。

背景技術

薄膜測厚儀，又稱為測厚儀、薄膜厚度檢測儀、薄膜厚度儀等，薄膜測厚儀專業適用于量程范圍內的塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測量，測厚儀測量薄膜厚度是將兩個激光傳感器安裝在被測物上下方，將傳感器固定在穩定的支架上，確保兩個傳感器的激光能對在同一點上，隨著被測物的移動，傳感器就開始對其表面進行采樣，分別測量出目標上下表面分別與上下成對的激光位移傳感器距離，測量值通過串口傳輸到計算機，再通過我們在計算機上的測厚軟件進行處理，得到目標的厚度值。

發明內容

本發明的目的在于提供一種薄膜厚度檢測方法，本方法通過采用薄膜厚度檢測儀實現對薄膜厚度的測量，且通過改變薄膜周圍整體的溫度，實現在不同溫度下對薄膜厚度的測量，從而便于研究薄膜受溫度的影響規律。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種薄膜厚度檢測方法，該方法包括以下步驟：

S1，將待檢測的薄膜固定在薄膜厚度檢測儀上；

S2，啟動S1中的薄膜厚度檢測儀對薄膜的厚度進行檢測；

S3，S2中檢測完成后，對檢測后的薄膜進行加熱，并利用溫度傳感器對薄膜的溫度進行檢測，當薄膜的整體周圍環境溫度達到預設值時，再次對薄膜的厚度進行檢測；

S4，改變薄膜的溫度，測量多組薄膜在不同溫度下的厚度；

本方法中采用的薄膜厚度檢測儀包括機罩，用于支撐所述機罩的底座頂部設置兩條第一滑槽，兩條所述第一滑槽之間設置兩條第二滑槽，所述第一滑槽內部安裝有固定薄膜的第一固定機構和第二固定機構，所述第一固定機構與所述第二固定機構之間通過螺絲桿連接，且所述螺絲桿一端安裝從動輪，所述從動輪與主動輪嚙合，所述主動輪安裝在電動機的輸出端；所述底座一側設置機罩，所述機罩一側安裝有用于保護內部結構的第一防護板，所述機罩另一側安裝有用于保護內部結構的第二防護板，所述第二防護板側壁安裝銘牌，所述機罩側壁設置顯示屏，所述顯示屏下方設置調節按鈕，所述調節按鈕一側設置功能按鈕，所述機罩底部安裝伸縮桿，所述伸縮桿一端安裝壓盤，所述壓盤底部與底座頂部均設置激光傳感器。

具體的，所述第一固定機構與第二固定機構均包括第一滑塊、支撐板、第二連接板、壓板和調節螺桿，且所述支撐板兩端分別設置第一滑塊，兩個所述第一滑塊側壁設置第一連接板，且所述第二連接板的兩端與兩個第一連接板之間通過支撐塊連接，兩個所述第一滑塊側壁均設有第三滑槽，且所述壓板的兩端安裝在第三滑槽內，所述調節螺桿安裝在壓板頂部，且所述調節螺桿與壓板之間通過兩根加強筋固定。

具體的，同一側的所述第一滑槽與第二滑槽之間通過第二通槽連通，且所述第一連接板位于第二通槽內。

具體的，兩個所述第二滑槽之間通過第一通槽連通，且所述第二連接板位于第一通槽內。

具體的，所述第一固定機構與底座之間呈固定連接，且所述第二固定機構內部的第二連接板內部設有螺紋孔，且所述螺絲桿穿過螺紋孔。

具體的，所述機罩與第一防護板和第二防護板之間均通過內六角螺栓固定，且所述內六角螺栓分別穿過第一防護板與第二防護板上設置的第一通孔并安裝在機罩兩側設置的螺栓孔內。