[發(fā)明專利]一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811098648.1 | 申請日： | 2018-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN109097178A | 公開（公告）日： | 2018-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 薛向東;劉俠;朱東東 | 申請（專利權(quán)）人： | 薛向東 |
| 主分類號： | C10M173/02 | 分類號： | C10M173/02;C10M159/12;C08F8/00;C08F26/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213000 江蘇省常州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 多晶硅片 切削液 硫酸銨 表面活性劑 聚烯丙胺 分散劑 抗菌劑 碳化硅 制備 添加劑 材料加工技術(shù) 二氧化碳氛圍 產(chǎn)品使用 成品率 水混合 易清洗 重量份 稱取 切割 | ||
1.一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于具體制備步驟為：
（1）將聚烯丙胺鹽酸鹽與水按質(zhì)量比1：80～1：100混合，攪拌混合后，調(diào)節(jié)pH至9.5～10.0，得聚烯丙胺鹽酸鹽溶液，于劇烈攪拌條件下，將改性葡萄糖混合液與聚烯丙胺鹽酸鹽溶液體積比1：6～1：8混合，攪拌反應(yīng)后，得聚烯丙胺鹽酸鹽-改性葡萄糖混合液；
（2）將聚烯丙胺鹽酸鹽-改性葡萄糖混合液與硼氫化鈉按質(zhì)量比200：1～250：1混合，攪拌反應(yīng)后，得凝膠混合物，將凝膠混合物透析，過濾，得凝膠；
（3）將重鉻酸鉀與水按質(zhì)量比1：15～3：25混合，并加入重鉻酸鉀質(zhì)量5～10倍的凝膠和重鉻酸鉀質(zhì)量1～2倍的氫氧化鉀，攪拌反應(yīng)后，旋蒸濃縮，干燥，得預(yù)處理添加劑，將預(yù)處理添加劑與封堵劑按質(zhì)量比1：10～1：15混合，加熱融化，過濾，冷凍干燥，得添加劑；
（4）按重量份數(shù)計，依次稱取：15～20份添加劑，20～25份碳化硅，5～8份分散劑，10～15份表面活性劑，10～12份硫酸銨，2～35份抗菌劑，8～10份聚烯丙胺和50～80份水，將添加劑與水混合，并加入碳化硅，分散劑，表面活性劑，抗菌劑，硫酸銨和聚烯丙胺，于二氧化碳氛圍下攪拌混合，得水溶性多晶硅片切削液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（2）所述透析所用透析袋的截留分子量為10000。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（3）所述封堵劑為碳原子數(shù)25～32的石蠟混合物或阿拉伯膠中任意一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（4）所述分散劑為分散劑TX-10，分散劑TX-12，吐溫-80中任意一種或兩種的組合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（4）所述表面活性劑為氟碳表面活性劑FC-4430或氟碳表面活性劑FC-16中任意一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（4）所述抗菌劑為異噻唑啉酮或季銨鹽抗菌劑中任意一種。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水溶性多晶硅片切削液的制備方法，其特征在于：步驟（1）所述的改性葡萄糖混合液為將葡萄糖與水按質(zhì)量比1：20～1：25混合，并加入葡萄糖質(zhì)量0.1～0.2倍的碘酸鉀，攪拌混合后，得葡萄糖混合液，將葡萄糖混合液與氯化鋇溶液按質(zhì)量比1：3～1：5混合，過濾，得濾液，將濾液與硫酸鈉溶液按質(zhì)量比1：3～1：4混合，過濾，得改性葡萄糖混合液。
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