[發明專利]一種聲表面波薄膜空腔諧振器

在審

• 申請號: 201811096342.2
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN108880503A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 劉月
• 申請（專利權）人: 劉月
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05;H03H9/145;H03H9/17
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 王少強

1.一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：包括基板、設置于所述基板上部的壓電材料層以及處于該所述壓電材料層上部的換能器組件；所述基板上開設有用于增強換能器組件產生的聲表面波反射性能的表面波反射空腔；所述換能器組件包括發送換能器單元以及接收換能器單元；且該發送換能器單元包括用于形成反壓電效應、產生彈性形變、生成聲表面波的第一金屬電極組件以及與所述第一金屬電極組件電性連接的信號源單元；所述接收換能器單元包括用于形成正壓電效應、產生電信號的第二金屬電極組件以及與所述第二金屬電極組件電性連接的單元組件。

2.如權利要求1所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述壓電材料層兩端還設置有用于吸收部分聲表面波的吸聲材料單元。

3.如權利要求1所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述第一金屬電極組件、第二金屬電極組件都包括呈叉指狀設置的正向金屬電極單元和負向金屬電極單元。

4.如權利要求1所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述壓電材料層的厚度范圍為0.1-250um。

5.如權利要求1至4中任意一項權利要求所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述基板與壓電材料層之間還設置有用于增強壓電材料層強度、控制濾波器帶寬的金屬材質層。

6.如權利要求5所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述金屬材質層的厚度范圍為0.02-300um。

7.如權利要求1所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述表面波反射空腔的深度范圍為1-200um。

8.如權利要求1或7所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述換能器組件的厚度范圍為0.1-30um。

9.如權利要求1所述的一種聲表面波薄膜空腔諧振器，其特征在于：所述壓電材料層包括LiTaO₃、LiNiO₃、石英晶體、ALN或ZnO。