[發明專利]陣列基板及顯示器件

有效

• 申請號: 201811095887.1
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN109449210B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發明（設計）人: 趙東方;劉玉成;杜哲;徐思維;沈志華;葛泳
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L29/423;H01L27/32;H01L27/12;H01L21/336
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 吳黎

本發明公開了一種驅動薄膜晶體管及制備方法、陣列基板及顯示器件，其中，驅動薄膜晶體管包括：有源層、柵極絕緣層和柵極，其中，有源層中溝道長度L處于35μm至50μm區間范圍內。本發明通過制備增加溝道長度，弱化器件本身的溝道長度調制效應，使得驅動薄膜晶體管飽和區的斜率降低，驅動薄膜晶體管的驅動能力增強，器件經過長時間點亮后，驅動薄膜晶體管源漏兩端的電壓變化幅度減小，減緩了OLED顯示器件的電流速率，使得OLED顯示器件更長時間的處于較高的亮度狀態，改善OLED器件壽命。

技術領域

本發明涉及發光顯示領域，具體涉及一種驅動薄膜晶體管及制備方法、陣列基板及顯示器件。

背景技術

液晶顯示和OLED顯示是兩種完全不同的顯示技術，目前均在智能手機等領域被廣泛應用。其中OLED是固體顯示，這區別于液晶顯示的液體屬性，因此OLED顯示器件對溫度和壓力更為不敏感，可以適應更寬廣的溫度和壓力環境的需求。此外OLED產品可以采用多種基底制作——這源于OLED是固體顯示的特性，因此OLED可以制造成柔性顯示設備、透明顯示設備等特種顯示產品。但是OLED顯示器件在長時間點亮后，器件的性能會發生退化，亮度降低，壽命減小。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種驅動薄膜晶體管及電子設備，以解決現有技術中OLED顯示器件長期點亮后亮度降低，壽命減小的技術問題。

本發明提出的技術方案如下：

本發明第一方面提出了一種驅動薄膜晶體管，至少包括：

有源層、柵極絕緣層和柵極，其特征在于，

所述有源層的溝道長度L處于35μm至50μm區間范圍內。

本發明所提供的驅動薄膜晶體管通過增加溝道長度，弱化器件本身的溝道長度調制效應，使得驅動薄膜晶體管飽和區的斜率降低，驅動薄膜晶體管的驅動能力增強，改善了OLED顯示器件的壽命。

優選地，所述柵極絕緣層包括雙層結構，包括靠近所述溝道區設置的第一柵極絕緣層，以及靠近柵極設置的第二柵極絕緣層，所述第一柵極絕緣層包括氧化硅，所述第二柵極絕緣層包括氮化硅。柵極絕緣層使用雙層結構，相比于現有的柵極絕緣層使用單層結構，能夠增加柵極對溝道的控制能力。

優選地，所述柵極絕緣層的總厚度大于或等于80nm，小于或等于120nm。

優選地，所述驅動薄膜晶體管為PMOS，所述有源層包括源區/漏區，所述源區/漏區采用硼離子進行注入，注入劑量大于5×10¹⁴個/cm²，小于 1×10¹⁵個/cm²。相對現有的源區/漏區的注入劑量減小了75％-90％，源區/ 漏區的注入劑量的減小，使得耗盡區電荷的數量和分布減小，減小了寄生電容。

本發明第二方面提出了一種陣列基板，包括：所述陣列基板上分散有若干個驅動薄膜晶體管，其中對應于藍色像素和綠色像素的驅動薄膜晶體管中的至少一種采用以上任意一種驅動薄膜晶體管。

本發明所提供的這種陣列基板，通過采用本發明上述驅動薄膜晶體管作為藍色像素和綠色像素的驅動薄膜晶體管，有利于改善藍色像素和綠色像素的使用壽命，進而優化相應OLED的使用壽命。

可選地，對應于藍色像素的驅動薄膜晶體管中溝道的長度L1，對應于綠色像素的驅動薄膜晶體管中溝道的長度L2，對應于紅色像素的驅動薄膜晶體管中溝道的長度L3，其中L1和L2大于L3；優選L1與L3的差值大于等于10μm，優選L2與L3的差值大于等于10μm。

在OLED器件中，紅色像素、綠色像素和藍色像素的壽命通常不同，而綠色像素和藍色像素的壽命低于紅色相同，通過調整不同顏色的像素的溝道長度，進而使得三者壽命接近，有利于優化OLED器件的整體壽命。

可選地，L3為18-35μm。