[發明專利]一種高性能表面波濾波器

在審

• 申請號: 201811095326.1
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號: CN108880502A
• 公開（公告）日: 2018-11-23
• 發明（設計）人: 劉月
• 申請（專利權）人: 劉月
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/05
• 代理公司: 廣東廣和律師事務所 44298
• 代理人: 王少強

1.一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：包括基板、設置于所述基板上部的支撐柱、設置于所述支撐柱上部的壓電材料層以及處于該所述壓電材料層上部的換能器組件；所述支撐柱中間部位為中空結構，在壓電材料層與基板之間形成有利于聲表面波在壓電材料層傳播的中空區域；所述換能器組件包括發送換能器單元以及接收換能器單元；且該發送換能器單元包括用于形成反壓電效應、產生彈性形變、生成聲表面波的第一金屬電極組件以及與所述第一金屬電極組件電性連接的信號源單元；所述接收換能器單元包括用于形成正壓電效應、產生電信號的第二金屬電極組件以及與所述第二金屬電極組件電性連接的組件單元。

2.如權利要求1所述的一種高性能表面波濾波器，其特征在于：所述壓電材料層兩端還設置有用于吸收部分聲表面波的吸聲材料單元。

3.如權利要求1或2所述的一種高性能表面波濾波器，其特征在于：所述第一金屬電極組件、第二金屬電極組件都包括呈叉指狀設置的正向金屬電極單元和負向金屬電極單元。

4.如權利要求1所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述壓電材料層的厚度范圍為0.1-250um。

5.如權利要求1或4所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述支撐柱與壓電材料層之間還設置有用于增強壓電材料層強度、控制濾波器帶寬的金屬材質層。

6.如權利要求5所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述金屬材質層的厚度范圍為0.02-300um。

7.如權利要求1所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述支撐柱中間部位中空結構的高度范圍為1-200um。

8.如權利要求1所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述換能器組件的厚度范圍為0.02-300um。

9.如權利要求1或4所述的一種高性能聲表面波濾波器，其特征在于：所述壓電材料層包括LiTaO₃、LiNiO₃、石英晶體、ALN或ZnO。