[發(fā)明專利]一種鎳基管狀陰極靶材的制備方法及其應(yīng)用

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811092237.1
• 申請日: 2018-09-19
• 公開（公告）號(hào): CN110923637A
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧先樹
• 申請（專利權(quán)）人: 成都建極微波技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;C23C14/14;C22C19/05
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1.一種鎳基管狀陰極靶材的制備方法，其特征在于：本方法通過合金熔煉工藝及成分控制、型殼工藝和鑄造工藝、機(jī)加工工藝，制備出滿足技術(shù)要求的鎳基管狀陰極靶材，具體如下：

1)、合金熔煉工藝及成分控制：在熔煉過程中，按4～6次分批加入Al；鎳基管狀陰極的化學(xué)成為：Cr20～22；Al10～11；Y1.5～2.0；Si0.2～0.4；Fe0.05～0.10；C0.005～0.010；Ni余量；

2)、型殼工藝和鑄造工藝：在型殼工藝中，型殼材料采用Al2O3占30～40wt％的高Al2O3面層，型殼材料采用Al2O3-SiO2系耐火材料背層，形成復(fù)合陶瓷型殼；在鑄造工藝設(shè)計(jì)上，外部工作表面為少余量鑄造的表面，其鑄造余量為0.3～0.8mm，內(nèi)部非工作表面鑄造余量為0.3mm以下；采用模數(shù)法結(jié)合經(jīng)驗(yàn)法設(shè)計(jì)鑄 造澆鑄系統(tǒng)，保證凝固過程的順序性和良好的補(bǔ)縮，鑄造澆鑄系統(tǒng)采用頂鑄式鑄口；采用的型殼溫度為900～950℃，澆鑄溫度為熔點(diǎn)以上30～50℃；

3)、機(jī)械加工：采用電火花切割切除冒口，采用硬質(zhì)合金刀具，進(jìn)行無應(yīng)力切割。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鎳基管狀陰極靶材的制備方法，其特征在于：所述鎳基管狀陰極靶材陰極零件的尺寸和結(jié)構(gòu)如下：外徑178mm，兩端口直徑140mm，長度338mm，壁厚10～15mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述鎳基管狀陰極靶材的應(yīng)用，其特征在于：所述鎳基管狀陰極靶材的應(yīng)用采用真空電弧鍍涂鍍，涂鍍工藝參數(shù)如下：

1)離子清理

工作壓強(qiáng)＜5～7×10-2Pa；

工件狀態(tài)：自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)；電弧電流500～600A；工件電壓300±10V；工作時(shí)間4～10min；

2)涂層涂鍍

工作壓強(qiáng)＜5～7×10-2Pa；

工件狀態(tài)：自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)；電弧電流600～750A；工件電壓30±10V；工作時(shí)間80±10min；冷卻時(shí)間3.0～3.5h。