[發(fā)明專利]一種高濃度顯影液原液組合物

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811089282.1
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN109062015A
• 公開（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王濤;陳煉;韓超倫
• 申請（專利權(quán)）人: 周連惠
• 主分類號: G03F7/32
• 分類號: G03F7/32
• 代理公司: 北京權(quán)智天下知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11638
• 代理人: 李海燕

1.一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所采用的各組分及其質(zhì)量百分比為：特殊結(jié)構(gòu)的表面活性劑1-45％、溶解助劑0.1-50％、無機堿0.1-25％、高純水30-99.9％，組份含量百分?jǐn)?shù)之和為100％。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所采用的各組分及其質(zhì)量百分比為：特殊結(jié)構(gòu)的表面活性劑3％、溶解助劑12％、無機堿4％、高純水81％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所采用的各組分及其質(zhì)量百分比為：特殊結(jié)構(gòu)的表面活性劑15％、溶解助劑6％、無機堿10％、高純水69％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所述特殊結(jié)構(gòu)的表面活性劑為具有下述結(jié)構(gòu)式(Ⅰ)所示的非離子表面活性劑，

式(Ⅰ)中m為0-4，n為3-30，m、n均為整數(shù)，R為氫或甲基，該表面活性劑結(jié)構(gòu)中可以同時含有氫和甲基。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所述溶解助劑為有機胺、有機酸、多元醇或醇醚類溶劑；其中，有機胺為乙醇胺、異丙醇胺、二乙醇胺、二甘醇胺、三乙醇胺、二乙烯三胺、多乙烯多胺的一種或幾種；有機酸為乙酸、丙酸、己酸、辛酸、水楊酸、抗壞血酸、亞氨基二乙酸、乙二胺四乙酸的一種或幾種；多元醇為乙二醇、丙二醇、丙三醇、丁二醇的一種或幾種；醇醚類溶劑為乙二醇丁醚、二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚的一種或幾種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所述無機堿為氫氧化鉀、氫氧化鈉、氫氧化鋰、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、硅酸鈉中的一種或幾種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項所述的一種高濃度顯影液原液組合物，其特征在于，所述高純水為電阻值大于18MΩ/cm的去離子水。