[發明專利]一種曲面多光譜復眼結構制作方法在審
| 申請號： | 201811089171.0 | 申請日： | 2018-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN109212635A | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發明（設計）人： | 邸思;金建 | 申請（專利權）人： | 廣州中國科學院先進技術研究所 |
| 主分類號： | G02B3/00 | 分類號： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 廣州容大專利代理事務所(普通合伙) 44326 | 代理人： | 劉新年;何雪霞 |
| 地址： | 510000 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復眼結構 聚合物 多光譜 基底 復制 夾具 制備技術領域 集成多通道 低表面能 光學器械 基底背面 基底制作 兩側邊緣 濾光功能 自然彎曲 柔韌性 玻璃基 光刻膠 顏色光 再利用 母版 阻劑 制作 | ||
1.一種曲面多光譜復眼結構制作方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1：在第一基底上涂覆正光刻膠，進行光刻顯影，制作復眼結構母版；
S2：在第二PET基底上涂覆一種顏色的光阻劑，通過光刻顯影，獲得至少一種顏色的濾光區域的PET基底濾光片；
S3：在上述S1制作好的復眼結構母版上覆蓋上聚合物PUA，再用第三PET基底覆蓋聚合物PUA上，再在紫外光下曝光固化后，撕下第三PET基底，獲得凹形復眼結構；
S4、再在S3獲得的凹形復眼結構上傾覆一層第二聚合物PUA，在第二聚合物PUA上覆蓋具有濾光區域的第二PET基底，再在紫外光下曝光固化后，撕下具有濾光區域的第二PET基底，獲得以第二PET基底為基底的PUA凸面復眼結構；
S5：將具有PUA凸面復眼結構的第二PET基底的兩側邊緣固定在有一定夾角的夾具上，形成曲面復眼結構。
2.根據權利要求1所述的曲面多光譜復眼結構制作方法，其特征在于，S2所述濾光區域為兩種或兩種以上，使得第二PET基底上形成多通道濾光區，多個濾光區域為逐個不同顏色光阻劑進行光刻顯影獲得。
3.根據權利要求1所述的曲面多光譜復眼結構制作方法，其特征在于，S2所述一種顏色的光阻劑在第二PET基底上光刻顯影后，在100～120℃下烘15～30分鐘進行固化。
4.根據權利要求1所述的曲面多光復眼結構制作方法，其特征在于，S1制作復眼結構母版時，改變掩膜板的各圓孔尺寸大小，制作出均勻或非均勻PUA凸面復眼結構。
5.根據權利要求1所述的曲面多光譜復眼結構制作方法，其特征在于，所述第一基底、第二PET基底分別經清洗、干燥后，采用氧氣等離子體進行處理，以增加其表面能。
6.上述權利要求1～5任一項所述方法制作得到的曲面多光譜復眼結構的凹面下方設置COMS傳感器芯片，作為具有成像功能的復眼結構成像系統。
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