[發(fā)明專利]一種具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811089163.6 | 申請(qǐng)日： | 2018-09-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109192855B | 公開（公告）日： | 2022-05-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 談國(guó)強(qiáng);劉云;郭美佑;薛敏濤;任慧君;夏傲 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 陜西科技大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L43/08 | 分類號(hào)： | H01L43/08;H01L43/10;H01L43/12 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200 | 代理人： | 徐文權(quán) |
| 地址： | 710021 *** | 國(guó)省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 具有 電阻 開關(guān) 效應(yīng) befmo zno 復(fù)合 異質(zhì)結(jié) 及其 制備 方法 | ||
1.一種具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，所述具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)，包括復(fù)合在一起的下層膜和上層膜；下層膜化學(xué)式為ZnO，六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)；上層膜化學(xué)式為Bi0.9Er0.1Fe0.99Mn0.01O3，扭曲的菱方鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，空間群R3c；高低阻態(tài)開關(guān)比RHRS/RLRS為4.62～74.76；
包括以下步驟：
步驟1，將C4H6O4Zn·2H2O溶于乙二醇甲醚和乙醇胺的混合液中，攪拌均勻，得到ZnO前驅(qū)液；
步驟2，采用旋涂法在FTO/Glass基板上旋涂ZnO前驅(qū)液，得到ZnO濕膜，濕膜經(jīng)勻膠后在280～300℃烘烤得干膜，再于550～580℃下退火得到晶態(tài)ZnO薄膜；
步驟3，待晶態(tài)ZnO薄膜降溫后，在晶態(tài)ZnO薄膜上重復(fù)步驟2，達(dá)到預(yù)設(shè)厚度，即得到ZnO薄膜；
步驟4，將Bi(NO3)3·5H2O、Er(NO3)3·6H2O、Fe(NO3)3·9H2O、C4H6MnO4·4H2O按摩爾比為0.95:0.10:0.99:0.01溶于乙二醇甲醚和醋酸酐的混合液中，攪拌均勻，得到BEFMO前驅(qū)液；
步驟5，在晶態(tài)ZnO薄膜上旋涂BEFMO前驅(qū)液，得到BEFMO濕膜，濕膜經(jīng)勻膠后在180～200℃烘烤得干膜，再于530～550℃下退火，得到晶態(tài)BEFMO薄膜；
步驟6，待晶態(tài)BEFMO薄膜自然降溫后，在BEFMO薄膜上重復(fù)步驟5，達(dá)到預(yù)設(shè)厚度，即得到BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，步驟1中ZnO前驅(qū)液中金屬離子的濃度為0.5～0.6mol/L。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，步驟4中BEFMO前驅(qū)液中金屬離子的總濃度為0.2～0.3mol/L。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，ZnO前驅(qū)液中乙二醇甲醚和乙醇胺的體積比為(30～32):1；BEFMO前驅(qū)液中乙二醇甲醚和醋酸酐的體積比均為(2.9～3.2):1。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，步驟2和步驟5中的勻膠轉(zhuǎn)速為3800～4000r/min，勻膠時(shí)間為12～15s。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，步驟2中勻膠后的烘烤時(shí)間為15～20min，步驟5中勻膠后的烘烤時(shí)間為5～10min。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)的制備方法，其特征在于，步驟2中的退火時(shí)間為45～60min，步驟5中的退火時(shí)間為8～15min。
8.采用權(quán)利要求1所述的方法制備得到的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的具有電阻開關(guān)效應(yīng)的BEFMO/ZnO復(fù)合異質(zhì)結(jié)，其特征在于，在1kHz磁場(chǎng)下，在40～50V的電壓下，剩余極化值Pr為27～40μC/cm2，其電滯回線矩形度Rsq＝0.99～1.05，矯頑場(chǎng)強(qiáng)為384～466kV/cm。
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