[發明專利]一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺

在審

• 申請號: 201811087515.4
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN109001228A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發明（設計）人: 崔長彩;李子清;薛步剛;黃國欽;黃輝
• 申請（專利權）人: 華僑大學
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 張松亭;張迪

1.一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于包括：底座、旋轉臺、圓環形轉接板、背光照明裝置、圓柱形連接支架和襯底定位裝置；

所述旋轉臺的底端面與底座的上表面形成可拆卸的固定連接；所述旋轉臺的上表面與所述圓環形連接板連動連接；電機驅動旋轉臺帶動所述圓環形連接板轉動；

所述背光照明裝置設置在圓環形連接板遠離旋轉臺的一面，并且所述背光照明裝置的出光方向為遠離所述圓環形連接板的方向；所述背光照明裝置遠離圓環形連接板的一面通過所述圓柱形連接支架與所述襯底定位裝置連接；

所述圓柱形連接支架將背光照明裝置的出光照射在圓柱形連接支架內，并阻擋環境光進入圓柱形連接支架內。

2.根據權利要求1所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺其特征在于：所述襯底定位裝置包括多個呈同心圓排列的定位圓環托盤。

3.根據權利要求2所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述定位圓環托盤，在其內側具有傾角為45°的倒角斜坡；所述定位圓環托盤的上表面靠近內圓處具有弧形凹槽，便于圓環托盤以及襯底的取放。

4.根據權利要求2所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的定位圓環托盤上表面帶有刻度，每一個定位圓環托盤的刻度沿著徑向均勻間隔設置，并沿著周向間隔設置呈米字形，用于定位分析和讀取襯底缺陷的相對位置，在測量過程中跟蹤位置。

5.根據權利要求2所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的定位圓環托盤內側壁帶有襯底定位邊；所述的定位圓環托盤內側壁帶有圓環狀臺階，用于支撐襯底。

6.根據權利要求1所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的圓柱形連接支架，中間為空心結構，空心結構的內側設有臺階，用于連接襯底定位裝置和背光照明裝置。

7.根據權利要求1所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的背光照明裝置的照明方式包括直下式背光照明、低角度照明和高角度照明，且均為均勻照明，根據襯底材料的缺陷類型，選取照明的方式。

8.根據權利要求7所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的背光照明裝置的光強調節方式包括對整個照明裝置的區域調節，整個照明裝置按照“米”字型，平均分成8個區域，每個區域均設有檔位開關，根據被測襯底的材料以及缺陷的類型、方位，選取照明的強度以及角度。

9.根據權利要求1所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的圓環形轉接板，通過沉孔固定所述的背光照明裝置以及旋轉臺，減少回轉過程中的轉動。

10.根據權利要求1所述的一種帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的可拆卸底座的兩側帶有梯形凹槽，便于手動取放工作臺。

11.根據權利要求1所述的帶背光照明的襯底缺陷檢測用回轉工作臺，其特征在于：所述的襯底為透明/半透明的圓形晶片，襯底的尺寸為目前的主流尺寸：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸，但不限于這四種尺寸。