[發明專利]一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置

在審

• 申請號: 201811087187.8
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN108896594A
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 何佳龍;龍繼東;彭宇飛;李杰;楊振;劉平;王韜;李喜;董攀;藍朝暉;鄭樂;劉爾祥;趙偉;楊潔;石金水
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號: G01N23/2202
• 分類號: G01N23/2202
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 高俊

1.一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，包括具有封閉空間的真空腔體(14)及與所述封閉空間相連的真空泵(25)，還包括加熱裝置，其特征在于，所述加熱裝置包括呈桶狀的底桶(10)及作為底桶(10)開口端封板的壓蓋(4)，所述加熱裝置位于所述封閉空間內；

還包括安裝于真空腔體(14)上的驅動部(22)，所述驅動部(22)通過運動傳遞件(2)與壓蓋(4)相連，所述驅動部(22)用于驅動壓蓋(4)沿著底桶(10)開口端的朝向方向運動；

還包括安裝在壓蓋(4)上的樣品存儲臺(5)，在所述壓蓋(4)扣合于底桶(10)開口端上時，所述樣品存儲臺(5)位于底桶(10)與壓蓋(4)兩者所圍成的空間內；

還包括固定于真空腔體(14)上的抓取轉運部(23)及閘門部(24)，所述閘門部(24)作為所述封閉空間與真空腔體(14)外側的通道，且所述通道通斷狀態可調；

在樣品存儲臺(5)隨壓蓋(4)在驅動部(22)的作用下由底桶(10)中移出后，所述抓取轉運部(23)抓取樣品存儲臺(5)上的樣品，且抓取轉運部(23)將所抓取的樣品由所述閘門部(24)轉運至封閉空間的外側；

所述加熱裝置用于對底桶(10)與壓蓋(4)兩者所圍成的空間進行加熱。

2.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述樣品存儲臺(5)呈柱狀結構，且樣品存儲臺(5)的側面上設置有多個插槽。

3.根據權利要求2所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述驅動部(22)驅動壓蓋(4)做直線往復運動，抓取轉運部(23)驅動其上的抓取端做直線往復運動，抓取轉運部(23)與閘門部(24)在真空腔體(14)上呈正對設置關系。

4.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述底桶(10)及壓蓋(4)上均設置有隔熱層，在壓蓋(4)以作為底桶(10)開口端封板與底桶(10)配合后，底桶(10)與壓蓋(4)兩者上的隔熱層圍成封閉的空間，所述樣品存儲臺(5)位于所述封閉的空間內。

5.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述底桶(10)的側壁為包括外筒(11)及內筒(9)的間壁式結構，所述外筒(11)套設在內筒(9)的外側，外筒(11)與內筒(9)之間具有間隙，所述側壁還包括作為所述間隙上端封板的水冷上堵板(8)及作為所述間隙下端封板的水冷下堵板(12)，所述水冷上堵板(8)、水冷下堵板(12)、外筒(11)、內筒(9)四者圍成冷卻水容納腔，還包括一端與冷卻水容納腔相連的進水管(17)及一端與冷卻水容納腔相連的出水管(18)。

6.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述底桶(10)通過多根桿件固定于真空腔體(14)上。

7.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，所述加熱裝置為電加熱裝置。

8.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，還包括作為真空腔體(14)局部壁面的觀察窗，所述觀察窗的材質為可透光材料，且所述觀察窗作為真空腔體(14)上的可拆卸壁面或可打開壁面。

9.根據權利要求1所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，還包括安裝在真空腔體(14)上的放氣閥(21)。

10.根據權利要求1至9中任意一項所述的一種材料二次電子發射特性測量樣品預處理裝置，其特征在于，還包括用于測量加熱裝置溫度的熱電偶(7)。