[發(fā)明專利]一種薄膜測(cè)試裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811083994.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-06
• 公開（公告）號(hào): CN109115606A
• 公開（公告）日: 2019-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張向平;范曉雯;趙永建
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): G01N3/08
• 分類號(hào): G01N3/08;G01L5/16;G01R27/26;G01R31/00;G01R31/12
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種薄膜測(cè)試裝置，主要包括光纖傳感器I(1)、反射鏡I(2)、光纖傳感器II(3)、反射鏡II(4)、探頭(5)、透鏡探針(6)、電暈探針(7)、高壓恒流源(8)、金屬罩(9)、柵網(wǎng)(10)、位移臺(tái)(11)、直流電源(12)、電壓源(13)、樣品(14)、樣品臺(tái)(15)、接地環(huán)電極(16)、主電極(17)、顯微鏡物鏡(18)、計(jì)算機(jī)(19)、電流計(jì)(20)和電流控制器(21)，xyz為三維空間坐標(biāo)系，

其特征是：所述探頭(5)具有前端和末端，所述探頭(5)從前端至末端由探針盤(5-1)、懸臂(5-2)和微驅(qū)動(dòng)器(5-3)連接而成，微驅(qū)動(dòng)器(5-3)能夠在y方向移動(dòng)，最小移動(dòng)步進(jìn)為60納米、最大移動(dòng)范圍為30毫米、最大移動(dòng)速率為2毫米/秒，所述探針盤(5-1)為圓盤狀，探針盤(5-1)下表面具有探針位I(5-1-1)、探針位II(5-1-2)和探針位III(5-1-3)，所述探針位I(5-1-1)位于探頭(5)前端，探針位I(5-1-1)能夠安裝透鏡探針(6)、也能夠安裝電暈探針(7)，探針位II(5-1-2)能夠安裝透鏡探針(6)，探針位III(5-1-3)能夠安裝電暈探針(7)，能夠?qū)⑼哥R探針(6)從探針位II(5-1-2)切換至探針位I(5-1-1)以進(jìn)行力學(xué)實(shí)驗(yàn)，能夠?qū)㈦姇炋结?7)從探針位II(5-1-2)切換至探針位I(5-1-1)以進(jìn)行電學(xué)實(shí)驗(yàn)，探針盤(5-1)上表面安裝有反射鏡II(4)，反射鏡II(4)與xz平面平行，探針盤(5-1)側(cè)面安裝有反射鏡I(2)，反射鏡I(2)與xy平面平行；

光纖傳感器I(1)和光纖傳感器II(3)分別電纜連接計(jì)算機(jī)(19)，光纖傳感器I(1)的位置固定并正對(duì)著反射鏡I(2)，光纖傳感器II(3)的位置固定并正對(duì)著反射鏡II(4)，透鏡探針(6)頂端是一個(gè)直徑范圍為1.5毫米至4毫米的半球形的玻璃透鏡，電暈探針(7)電纜連接高壓恒流源(8)，電暈探針(7)長(zhǎng)為20毫米、直徑為0.3毫米；探頭(5)的透鏡探針(6)和電暈探針(7)的下方依次安裝有金屬罩(9)和柵網(wǎng)(10)，所述金屬罩(9)和柵網(wǎng)(10)均連接于位移臺(tái)(11)，位移臺(tái)(11)能夠分別控制金屬罩(9)和柵網(wǎng)(10)移動(dòng)，金屬罩(9)通過(guò)位移臺(tái)(11)電纜連接直流電源(12)，金屬罩(9)是長(zhǎng)度為24毫米、底面直徑為18毫米的圓柱面，圓柱面的軸線沿y方向，柵網(wǎng)(10)是由直徑為0.2毫米的金屬線組成的邊長(zhǎng)為2毫米的正方形網(wǎng)格，柵網(wǎng)(10)通過(guò)位移臺(tái)(11)電纜連接電壓源(13)，電壓源(13)電纜連接電流控制器(21)；

樣品臺(tái)(15)位于柵網(wǎng)(10)下方，樣品臺(tái)(15)能夠在xz平面內(nèi)移動(dòng)，最小移動(dòng)步進(jìn)為60納米、最大移動(dòng)范圍為30毫米、最大移動(dòng)速率為2毫米/秒，樣品臺(tái)(15)底部具有接地環(huán)電極(16)和主電極(17)，所述接地環(huán)電極(16)外徑為20毫米、內(nèi)徑為18毫米，所述主電極(17)為直徑14毫米的圓盤并能夠透光，樣品(14)位于樣品臺(tái)(15)內(nèi)，樣品(14)分別與接地環(huán)電極(16)和主電極(17)接觸，主電極(17)依次電纜連接電流計(jì)(20)、電流控制器(21)和計(jì)算機(jī)(19)，顯微鏡物鏡(18)位于樣品臺(tái)(15)下方；電流計(jì)(20)測(cè)得的樣品(14)充電電流I₁輸入到電流控制器(21)，計(jì)算機(jī)(19)中預(yù)設(shè)的樣品(14)充電電流I₂輸入到電流控制器(21)，電流控制器(21)比較I₁和I₂后輸出反饋信號(hào)至電壓源(13)，以能夠控制施加在柵網(wǎng)(10)上的電壓。