[發(fā)明專(zhuān)利]一種自動(dòng)尋焦方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811083856.4
• 申請(qǐng)日: 2018-09-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108941897A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉富榮;韓釗;韓偉娜;李文強(qiáng);張永志;韓剛;郭繼承;黃引;韓子豪;孫騰;李玉;陳清遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B23K26/046
• 分類(lèi)號(hào): B23K26/046
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 張立改

1.一種自動(dòng)尋焦方法，其特征在于，采用的裝置，包括：平行光的入射激光(1)入射到第一反射鏡(2)。入射激光(1)大部分能量經(jīng)第一反射鏡(2)的下表面反射到聚焦鏡(3)，并被聚焦到樣品(5)上；樣品(5)被激光照射后，在吸收部分能量的同時(shí)，樣品(5)還反射回部分激光，稱(chēng)為第一反射激光(4)；第一反射激光(4)經(jīng)過(guò)聚焦鏡(3)聚焦后回到第一反射鏡(2)；同時(shí)，入射激光(1)在入射到第一反射鏡(2)的下表面后，少部分能量會(huì)透過(guò)第一反射鏡(2)，并入射到第二反射鏡(6)，經(jīng)第二反射鏡(6)返回，稱(chēng)為第二反射激光(7)，第二反射激光(7)仍然為平行光，第二反射激光(7)與第一反射激光(4)重合在第一反射鏡(2)的上表面，并一同反射進(jìn)入CCD面陣相機(jī)(9)，形成干涉條紋；其中第二反射鏡(6)和CCD面陣相機(jī)(9)在第一反射鏡(2)的上表面?zhèn)龋肷浼す?1)、聚焦鏡(3)、樣品(5)在第一反射鏡(2)的下表面?zhèn)龋坏谝环瓷溏R(2)為能夠透射的反射鏡，第一反射鏡(2)上下表面平行，第二反射鏡(6)為平面反射鏡；

實(shí)現(xiàn)自動(dòng)尋焦的具體步驟為：

第一步、如果入射激光(1)為超短脈沖，則應(yīng)調(diào)整第二反射鏡(6)，使成像于CCD面陣相機(jī)(9)上的條紋對(duì)比度最高；如果激光不為超短脈沖，則可跳過(guò)第一步。

第二步、粗略調(diào)整如升或降樣品(5)的位置，使CCD面陣相機(jī)(9)上逐漸出現(xiàn)可以分辨的條紋；

第三步、細(xì)微地繼續(xù)調(diào)整如升或降樣品(5)的位置，使得在CCD面陣相機(jī)(9)上的干涉條紋由圓弧形盡可能地變直條型；此時(shí)樣品(5)在聚焦鏡(3)的焦平面上；

第四步、繼續(xù)調(diào)整如升或降樣品(5)的位置，則CCD面陣相機(jī)(9)上的條紋則會(huì)變彎曲，同時(shí)條紋個(gè)數(shù)會(huì)變多；

第五步、在進(jìn)行第一步至第四步的同時(shí)，計(jì)算機(jī)會(huì)記錄驅(qū)動(dòng)樣品(5)調(diào)節(jié)的電機(jī)上升的位置以及對(duì)應(yīng)的條紋狀態(tài)；最后經(jīng)過(guò)擬合曲線的方法，獲得最佳焦點(diǎn)位置。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)尋焦方法，其特征在于，擬合曲線為位置關(guān)系和條紋之間的曲線。

3.按照權(quán)利要求1所述的一種自動(dòng)尋焦方法，其特征在于，全程由計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制樣品升降，并記錄CCD面陣相機(jī)呈現(xiàn)的干涉條紋圖樣；最后計(jì)算機(jī)自動(dòng)判定聚焦鏡焦平面位置。