[發(fā)明專利]無機(jī)物層層疊體的制造方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811082862.8
• 申請日: 2018-09-17
• 公開（公告）號: CN109671518A
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松本圭祐;竹下翔也;河野文彥;酒井和也;安藤豪彥
• 申請（專利權(quán)）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: H01B5/14
• 分類號: H01B5/14;H01B13/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，具備：

在具備基材薄膜的薄膜體的厚度方向一側(cè)配置第1支撐薄膜的工序、

在真空下在所述薄膜體的厚度方向另一側(cè)形成無機(jī)物層的工序、

將所述第1支撐薄膜去除的工序、

在所述薄膜體的厚度方向一側(cè)配置第2支撐薄膜的工序、及

對所述無機(jī)物層進(jìn)行加熱的工序。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述第1支撐薄膜的含水量不足2.5μg/m²。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述第1支撐薄膜在寬度10mm下的屈服強(qiáng)度為30MPa以下，第1支撐薄膜的斷裂伸長率為80％以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述第1支撐薄膜為拉伸聚丙烯薄膜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述第1支撐薄膜與所述薄膜體的剝離力為0.005N/50mm以上且0.50N/50mm以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述第2支撐薄膜為聚對苯二甲酸乙二醇酯薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述基材薄膜為環(huán)烯烴聚合物薄膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其中，所述在真空下形成無機(jī)物層的工序為通過濺射法在真空下形成無機(jī)物層的工序。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無機(jī)物層層疊體的制造方法，其特征在于，所述無機(jī)物層含有銦錫復(fù)合氧化物。