[發明專利]一種顯示材料外觀缺陷檢測裝置

在審

• 申請號: 201811079673.5
• 申請日: 2018-09-17
• 公開（公告）號: CN109142378A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 王福亮;姚毅;邢志廣
• 申請（專利權）人: 凌云光技術集團有限責任公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理事務所(普通合伙) 11363
• 代理人: 逯長明;許偉群

本申請公開一種顯示材料外觀缺陷檢測裝置，包括線掃相機，工控機，數據中心，分光鏡，第一反射鏡，第二反射鏡，第三反射鏡，暗場光源和灰場光源；線掃相機，工控機和數據中心依次連接；線掃相機的下方設有鏡頭，分光鏡和第一反射鏡依次設于鏡頭的下方；第二反射鏡用于將暗場光源發出的光反射至分光鏡上；第三反光鏡用于將灰場光源發出的光反射至第一反光鏡上。本申請在兩個檢測位置分時復用同一個鏡頭、線掃相機、工控機和數據中心，減少鏡頭等硬件的數量，提高鏡頭、相機的利用率，降低成本。本申請使用灰場成像模式，使得原來不易成像的顯示材料表面起伏等缺陷得以成像，降低這類缺陷的漏檢，從而降低漏檢率。

技術領域

本申請涉及光學檢測技術領域，特別涉及一種顯示材料外觀缺陷檢測裝置。

背景技術

隨著顯示終端的普及與更新換代，以及用戶品位不斷提升，對顯示材料的外觀質量提出了更高的要求。在顯示材料的制作過程中，經常會出現諸如凸起，缺失等各種缺陷，影響顯示材料的平整度或光學品質。因此，需要對顯示材料外觀進行嚴格檢測。

目前大部分顯示材料外觀檢測采用人工檢測方式，效率低、標準不統一。一部分顯示材料制造商雖然采用了自動光學檢測(Auto Optical Inspection，AOI)檢測方式，但由于對顯示材料外觀缺陷的光學特性缺乏深度研究，致使檢測方案不合理，覆蓋的缺陷種類不全面，漏檢率高；或者為了提高缺陷種類覆蓋率，雖采用了多個工站，但每個工站各有一套鏡頭、相機等視覺硬件，提高了AOI設備的復雜度和成本，降低了可靠性。

發明內容

本申請的目的在于提供一種顯示材料外觀缺陷檢測裝置，以解決現有顯示材料檢測技術漏檢率高和成本高的問題。

根據本申請的實施例，提供了一種顯示材料外觀缺陷檢測裝置，包括：線掃相機，工控機，數據中心，分光鏡，第一反射鏡，第二反射鏡，第三反射鏡，暗場光源和灰場光源；

所述線掃相機，所述工控機和所述數據中心依次連接；

所述線掃相機的下方設有鏡頭，所述分光鏡和所述第一反射鏡依次設于所述鏡頭的下方；

所述第二反射鏡用于將所述暗場光源發出的光反射至所述分光鏡上；

所述第三反光鏡用于將所述灰場光源發出的光反射至所述第一反光鏡上。

進一步地，所述暗場光源包括低相干度線激光或LED顆粒組成的一列光源，以及，橢圓柱面。

進一步地，所述灰場光源包括若干列LED顆粒，所述LED顆粒的半強度發散角為5-10°。

進一步地，所述裝置還包括傳送機構和載物臺，所述傳送機構設于所述第一反射鏡，所述第二反射鏡和所述第三反射鏡的下方，所述載物臺設于所述傳送機構的上方。

進一步地，所述裝置還包括旋轉機構，所述載物臺與所述傳送機構通過所述旋轉機構連接。

可選地，所述傳送機構包括導軌或直線電機。

可選地，所述旋轉機構包括電動旋轉臺。

可選地，所述工控機內設有高速圖像采集卡。