[發明專利]致動器控制裝置、光學模塊、電子設備及致動器控制方法

有效

• 申請號: 201811078551.4
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN109100861B
• 公開（公告）日: 2022-01-14
• 發明（設計）人: 廣久保望
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G02B5/28
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 張永明;玉昌峰

本發明涉及致動器控制裝置、光學模塊、電子設備及致動器控制方法。分光測定裝置具備：靜電致動器(56)，通過被施加驅動電壓而驅動；間隙檢測器(151)，檢測間隙(G1)的尺寸；閉環系統(15L)，根據來自間隙檢測器(151)的檢測信號，控制向靜電致動器(56)施加的驅動電壓；以及增益設定單元(164)，根據基于間隙檢測器(151)的檢測信號的靜電致動器(56)的驅動特性，設定閉環系統(15L)中的增益。

本申請是申請日為2015年1月26日、申請號為201510038264.0、發明名稱為“致動器控制裝置、光學模塊、電子設備及致動器控制方法”的專利申請的分案申請，其全部內容結合于此作為參考。

技術領域

本發明涉及致動器控制裝置、光學模塊、電子設備及致動器控制方法。

背景技術

現有技術中，已知有具備相互對置的一對基板、分別配置在各基板而相互對置的反射膜以及分別配置在各基板而相互對置的電極的波長可變干涉濾波器(例如，參照專利文獻1)。

在專利文獻1所記載的波長可變干涉濾波器中，在各基板分別配置有相互對置的靜電電容監視器用電極以及相互對置的靜電力施加用電極(靜電致動器)。在這樣的波長可變干涉濾波器中，通過控制電路向靜電致動器施加電壓，從而使反射膜間的間隙量(間隔尺寸)發生變化。另外，通過用靜電電容檢測電路檢測靜電電容監視器用電極的電位，并基于檢測到的靜電電容微調(反饋控制)從控制電路向靜電致動器施加的電壓，從而能夠將反射膜間間隙的間隙量設定為期望的目標值。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開平1－94312號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

然而，在上述專利文獻1所記載的靜電致動器中，因溫度變化等環境因素或隨時間的變化等，存在施加規定的驅動電壓時的驅動量發生變化(驅動特性變化)的情況。例如，在靜電致動器的初始間隙變動的情況下，施加電壓時的驅動量也會變化，從而導致驅動特性也發生變化。這樣，驅動特性發生變化時，在靜電致動器的驅動電路中，也需要進行用于重新設定最佳增益的增益控制。

然而，在上述專利文獻1所記載的現有的使用固定增益的反饋電路中，不能實施最佳的增益控制，例如，存在到將靜電致動器設定為目標值的時間延長、發生異常振蕩等難以實施最佳反饋控制的課題。

本發明的目的在于，提供即使發生了驅動特性變化也能進行最佳的反饋控制的致動器控制裝置、光學模塊、電子設備、及致動器控制方法。

用于解決技術問題的方案

本發明的致動器控制裝置的特征在于，具備：致動器，通過被施加驅動電壓而驅動；檢測單元，檢測所述致動器的驅動量；反饋控制部，根據由所述檢測單元檢測到的所述驅動量，控制向所述致動器施加的驅動電壓；以及增益設定單元，根據基于由所述檢測單元檢測的所述驅動量的所述致動器的驅動特性，設定所述反饋控制部中的增益。

在本發明中，基于由檢測單元檢測的致動器的驅動量判定該致動器的驅動特性，根據驅動特性設定反饋環路的增益。也就是說，即使在因環境變化、經年變化而致動器的驅動特性發生了變化的情況下，也可基于判定的驅動特性，重新設定反饋環路的增益。因此，能以與變化后的驅動特性對應的最佳增益驅動致動器。由此，能夠抑制因不適當的增益而導致的異常振蕩、到將致動器的驅動量設定為目標驅動量的時間延長等不良現象，能夠實施最佳的致動器的反饋控制。

在本發明的致動器控制裝置中，優選還具備：第一部件以及與所述第一部件相對的第二部件，所述致動器是具備設于所述第一部件的第一電極以及設于所述第二部件并與所述第一電極相對的第二電極的靜電致動器，所述檢測單元檢測所述第一部件與所述第二部件間的間隙尺寸作為所述驅動量。