[發明專利]一種硅片切割硅泥回收利用工藝在審
| 申請號： | 201811076390.5 | 申請日： | 2018-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN109205626A | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發明（設計）人： | 冉祎;魏強;袁中華;陳井建;廖元 | 申請（專利權）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/037 | 分類號： | C01B33/037;C01B33/025 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 王學強;羅滿 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅粉 硅泥 硅液 二氧化硅雜質 硅片切割 第一混合物 回收利用 熔煉爐 熔融 碳粉 冷卻 有機物雜質 回收工藝 節能環保 重量計 熔煉 廢硅 硅塊 去除 回收率 加熱 還原 送入 回收 申請 | ||
1.一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，包括：
干燥：去除硅泥中的水和第一雜質，得到包含有硅粉的第一混合物；
熔融：將第一混合物送入熔煉爐加熱熔煉，所述硅粉熔融得到包含有二氧化硅雜質的硅液；
還原：向所述熔煉爐中加入碳粉，所述硅液中的所述二氧化硅雜質與碳粉反應，得到純度大于98％的硅液；
冷卻：將所述硅液冷卻形成硅塊。
按重量計，所述硅泥包括：第一雜質2.8-9份，水40-50份，硅粉25-50份，二氧化硅雜質1.1-3份。
2.根據權利要求1所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，所述干燥步驟具體包括：
將所述硅泥送入壓濾設備進行壓濾，去除部分第一雜質和水，得到壓濾后的硅泥；
將所述壓濾后的硅泥送入微波干燥設備，在真空環境下2300MHz-2500MHz微波加熱去除所述壓濾后的硅泥中的水和第一雜質，得到第一混合物。
3.根據權利要求2所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，所述微波加熱去除所述壓濾后的硅泥中的水和第一雜質過程，微波加熱溫度為95-300℃，所述真空環境具體為：氣壓為0.03-0.05MPa的負壓環境。
4.根據權利要求2所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，按重量計，所述壓濾后的硅泥包括：第一雜質1.4-7.5份，水32-40份，硅粉25-50份，二氧化硅雜質1.1-3份；
按重量計，所述第一混合物包括：第一雜質0.8-2份，硅粉25-50份，二氧化硅雜質1.1-3份。
5.根據權利要求1至4任一項所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，所述第一雜質包括二乙二醇、乙二醇和聚乙二醇中的一種或多種。
6.根據權利要求1所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，所述熔融步驟具體包括：
將所述第一混合物送入熔煉爐；
向熔煉爐中持續吹掃惰性氣體，所述熔煉爐升溫至1400-1500℃，持續加熱1.2-2h，使所述第一混合物中的硅粉熔融形成硅液，所述第一雜質形成揮發氣排出。
7.根據權利要求6所述的一種硅片切割硅泥回收利用工藝，其特征在于，所述還原步驟具體包括：
向熔煉爐中通入碳粉，保持所述熔煉爐爐溫至1400-1500℃，所述二氧化硅雜質與所述碳粉反應還原為硅，得到純度大于98％的硅液。
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