[發(fā)明專利]自動(dòng)化石墨舟卡點(diǎn)裝點(diǎn)器

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811069658.2
• 申請(qǐng)日: 2018-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN108914089A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫紅彬;段波;陶龍忠;楊灼堅(jiān);李靜;沙泉;唐福云;盧佩良;李寧;高順;王存亮;高東坡
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇潤陽悅達(dá)光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/458
• 分類號(hào): C23C16/458;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明屬于太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)化石墨舟卡點(diǎn)裝點(diǎn)器，包括供儲(chǔ)存新卡點(diǎn)的儲(chǔ)料料斗、設(shè)置在所述儲(chǔ)料料斗一側(cè)的震動(dòng)機(jī)構(gòu)、設(shè)置于所述儲(chǔ)料料斗下端的卡點(diǎn)滑道、設(shè)置在所述卡點(diǎn)滑道下端用于將新卡點(diǎn)移送至壓點(diǎn)工位的換點(diǎn)機(jī)構(gòu)、設(shè)置于所述換點(diǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)用于將所述壓點(diǎn)工位中的卡點(diǎn)壓至裝點(diǎn)工位的壓點(diǎn)機(jī)構(gòu)，因而使用時(shí)儲(chǔ)料料斗中的新卡點(diǎn)可以經(jīng)其下端的卡點(diǎn)滑道滑落至換點(diǎn)機(jī)構(gòu)，換點(diǎn)機(jī)構(gòu)將其接收的卡點(diǎn)移送至壓點(diǎn)工位，壓點(diǎn)機(jī)構(gòu)將壓點(diǎn)工位中的新卡點(diǎn)壓點(diǎn)至裝點(diǎn)工位，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化裝點(diǎn)，操作簡便，裝點(diǎn)質(zhì)量高，不會(huì)對(duì)卡點(diǎn)造成損壞，自動(dòng)化程度高，裝點(diǎn)過程無需人工手動(dòng)參與，緩解了操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度，省時(shí)省力，工作效率高，應(yīng)用前景廣闊。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于太陽能電池制造領(lǐng)域，尤其涉及一種自動(dòng)化石墨舟卡點(diǎn)裝點(diǎn)器。

背景技術(shù)

隨著太陽能電池的迅猛發(fā)展，越來越多的太陽能電池進(jìn)入民用領(lǐng)域。在太陽能電池的生產(chǎn)過程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法）鍍膜工藝是生產(chǎn)流程中的重要環(huán)節(jié)，起到舉足輕重的作用。PECVD是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。硅片進(jìn)行其表面鍍膜工序時(shí)，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD 真空鍍膜設(shè)備的載片器上。目前，載片器通常采用石墨舟，具體操作過程是：將硅片插入石墨舟并通過石墨舟卡點(diǎn)定位于其上，然后，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空鍍膜設(shè)備中，采用PECVD 工藝對(duì)硅片進(jìn)行鍍膜。為了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上設(shè)有用于固定硅片的卡點(diǎn)，由于硅片在插取過程中會(huì)對(duì)卡點(diǎn)有一定的磨損，需要定期對(duì)卡點(diǎn)進(jìn)行更換，以便保證石墨舟的良好狀態(tài)，進(jìn)而保證硅片的鍍膜質(zhì)量。

傳統(tǒng)石墨舟卡點(diǎn)的更換方法操作步驟復(fù)雜且繁瑣、同時(shí)對(duì)裝配人員技能要求比較高，如果技能操作不到位會(huì)導(dǎo)致更換過程中石墨舟片和石墨舟卡點(diǎn)損壞或裝配不到位，傳統(tǒng)的石墨舟卡點(diǎn)更換操作方法是：石墨舟卡點(diǎn)需要使用到一臺(tái)簡易手動(dòng)壓機(jī)，同時(shí)壓機(jī)兩邊需用泡沫板或橡膠皮墊墊得和手動(dòng)壓機(jī)平臺(tái)一樣的高度，操作人員坐在壓機(jī)面前將石墨舟片平放置于手動(dòng)壓機(jī)平臺(tái)上面，然后依次將石墨舟的24個(gè)卡點(diǎn)用手動(dòng)壓機(jī)卸下，石墨舟卡點(diǎn)卸下之后操作人員將要更換新的卡點(diǎn)放置于對(duì)應(yīng)卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下轉(zhuǎn)動(dòng)壓機(jī)，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大會(huì)把石墨舟和卡點(diǎn)壓壞，如果使用的力度太小就壓不到位，壓完一張石墨舟片的卡點(diǎn)后，繼續(xù)下一張石墨舟片卡點(diǎn)的更換，一個(gè)石墨舟有27片組成，通常一天需要更換好幾個(gè)這樣的石墨舟卡點(diǎn)，人員操作復(fù)雜繁瑣，常常因?yàn)閬聿患案鼡Q石墨舟卡點(diǎn)，而導(dǎo)致生產(chǎn)進(jìn)度緩慢，一般情況下因?yàn)橼s進(jìn)度而損壞石墨舟片或卡點(diǎn)壓不到位的情況非常多，導(dǎo)致硅片制作過程中損壞或脫落情況，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種自動(dòng)化程度高、操作簡便、裝點(diǎn)質(zhì)量高、不會(huì)對(duì)卡點(diǎn)造成損壞、工作效率高的自動(dòng)化石墨舟卡點(diǎn)裝點(diǎn)器。

本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足所采用的技術(shù)方案是：

一種自動(dòng)化石墨舟卡點(diǎn)裝點(diǎn)器，用于將新卡點(diǎn)裝點(diǎn)至石墨舟卡點(diǎn)更換機(jī)的裝點(diǎn)工位，其特征在于，包括：

儲(chǔ)料料斗，供儲(chǔ)存新卡點(diǎn)；

震動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述儲(chǔ)料料斗一側(cè)，驅(qū)動(dòng)所述儲(chǔ)料料斗中的新卡點(diǎn)下落；

卡點(diǎn)滑道，設(shè)置于所述儲(chǔ)料料斗下端，所述儲(chǔ)料料斗中的新卡點(diǎn)經(jīng)所述卡點(diǎn)滑道滑落至換點(diǎn)機(jī)構(gòu)；

換點(diǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述卡點(diǎn)滑道下端，用于將新卡點(diǎn)移送至壓點(diǎn)工位；

壓點(diǎn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述換點(diǎn)機(jī)構(gòu)一側(cè)，用于將所述壓點(diǎn)工位中的卡點(diǎn)壓至裝點(diǎn)工位。

優(yōu)選的，本發(fā)明中所述換點(diǎn)機(jī)構(gòu)包括換點(diǎn)滑塊和換點(diǎn)滑塊氣缸，所述換點(diǎn)滑塊氣缸的活塞桿連接所述換點(diǎn)滑塊，所述換點(diǎn)滑塊上設(shè)有換點(diǎn)滑塊卡點(diǎn)孔，所述儲(chǔ)料料斗中的新卡點(diǎn)經(jīng)所述卡點(diǎn)滑道滑落至所述換點(diǎn)滑塊卡點(diǎn)孔。