[發(fā)明專利]一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811069284.4
• 申請(qǐng)日: 2018-09-13
• 公開（公告）號(hào): CN109444194A
• 公開（公告）日: 2019-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳妍;潘慧慧;吳夢(mèng)雪;華佑南;李曉旻
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 勝科納米(蘇州)有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/2202
• 分類號(hào): G01N23/2202
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 朱琳

1.一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，包括：

提供合金材料作為鑲嵌料，并將鑲嵌料切為塊狀結(jié)構(gòu)；

將待鑲嵌的樣品放置在載片上并使樣品的觀察面與載片接觸；

使用雙面開口的模具罩住所述樣品并確保樣品位于模具的中心位置；

在模具內(nèi)圍繞樣品鋪設(shè)塊狀結(jié)構(gòu)的鑲嵌料，并使所述鑲嵌料的高度高于樣品；

加熱所述鑲嵌料使所述鑲嵌料完全覆蓋樣品并平鋪在模具底部；

向鑲嵌料和樣品施壓壓力，以確保鑲嵌料成型；

將鑲嵌完成的樣品從載片上取下并脫模。

2.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，所述合金材料為錫銀合金、錫銦合金、錫鋅合金或銦鉍合金。

3.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，對(duì)所述鑲嵌料的加熱時(shí)間為3分鐘～5分鐘。

4.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，所述塊狀結(jié)構(gòu)的鑲嵌料為高度為2-10mm，底面面積為0.5-50mm²的小塊體。

5.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，所述鑲嵌料的累積高度比樣品的最高點(diǎn)高5-10mm。

6.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，如需觀察樣品的截面特征，先利用砂紙逐級(jí)打磨樣品，然后對(duì)樣品進(jìn)行拋光即可。

7.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，在掃描電鏡觀察完樣品之后，使用鑷子將樣品取出并清洗樣品，剩余的鑲嵌料回收重復(fù)使用。

8.如權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法，其特征在于，使用形狀與模具以及樣品匹配的壓頭對(duì)鑲嵌料和樣品施加壓力，并保持1～5分鐘。

9.如權(quán)利要求8所述的一種掃描電鏡樣品的鑲嵌方法去，其特征在于，使用壓頭對(duì)鑲嵌料和樣品施加的壓力的大小為0～2×10⁵牛頓。