[發明專利]高解析度階臺定位器

在審

• 申請號: 201811067603.8
• 申請日: 2018-09-13
• 公開（公告）號: CN109585350A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發明（設計）人: J·C·多納赫
• 申請（專利權）人: 魯道夫科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 李隆濤

1.一種用于定位階臺的移動機構，包括：

導軌，該導軌具有線性編碼器；

臺車，其在該導軌上移動，該臺車具有讀取頭，該讀取頭指示該臺車的沿著該導軌的標稱位置；

線性耦合裝置，其將該移動機構連接到該階臺，使得當該階臺在與該導軌平行的方向上移動時，該線性耦合裝置使該臺車沿著該導軌移動，且當該階臺在與該導軌橫切的方向上移動時，該階臺將能夠相對于該臺車移動；以及

位于該階臺上的參考表面以及位于該臺車上的相對的至少一個距離感測器，由該讀取頭所回報的位置及由該距離感測器所回報的標稱距離被結合來定位該階臺。

2.如權利要求1所述的用于定位階臺的移動機構，還包括在該臺車上的至少兩個距離感測器，由所述至少兩個距離感測器所回報的距離之間的差異被使用來計算該階臺相對于該臺車的角度。

3.如權利要求1所述的用于定位階臺的移動機構，其中，該參考表面包括多個獨立區段，其被定位來形成標稱平面參考表面。

4.如權利要求3所述的用于定位階臺的移動機構，還包括在該臺車上的至少兩個距離感測器，在該臺車上的該至少兩個距離感測器彼此間具有間距，其將該至少兩個距離感測器定址到該參考表面的間隔開的區段。

5.如權利要求3所述的用于定位階臺的移動機構，還包括在該臺車上的至少兩對距離感測器，在該臺車上的該至少兩對距離感測器中的每一者在各個距離感測器之間具有間距，其小于該平面參考表面的區段的寬度，該至少兩對距離感測器彼此間具有間距，其將該至少兩對距離感測器定址到該參考表面的間隔開的區段。

6.如權利要求1所述的用于定位階臺的移動機構，其中，該導軌被定位在該階臺上方。

7.如權利要求1所述的用于定位階臺的移動機構，其中，該導軌被定位在該階臺下方。

8.如權利要求1所述的用于定位階臺的移動機構，其中，該階臺相對于基座移動，該階臺藉由空氣軸承機構、機械軸承機構、及電磁軸承機構中之一而被支撐在該基座上方。

9.一種用于定位階臺的定位機構，包括：

多個軌道，該多個軌道中的每一個軌道具有尺度；

多個塊體，該多個塊體中的每一個塊體被布置來在所述多個軌道中的一個軌道上移動，該多個塊體中的每一個塊體具有感測器，該感測器藉由從該尺度讀取位置而指示塊體的沿著其各自的軌道的標稱位置；

多個連接器，每一個連接器將該多個塊體中的一個塊體連接到該階臺，使得當該階臺在平行于該多個軌道中的一個軌道的方向上移動時，該連接器使關聯于該軌道的該塊體沿著該軌道移動，以及當該階臺在與該軌道橫切的方向上移動時，該階臺將能夠相對于該塊體移動；

位于該階臺上的參考表面以及位于該多個塊體中的每一個塊體上的相對的至少一個距離感測器，由所述至少一個距離感測器所回報的關于每一個軌道的尺度的位置及由所述至少一個距離感測器中的每一個距離感測器所回報的標稱距離被結合來定位該階臺。

10.如權利要求9所述的用于定位階臺的定位機構，其中，該多個軌道中的至少兩個軌道被設置為相互垂直的。

11.如權利要求9所述的用于定位階臺的定位機構，其中，該軌道被定位在該階臺上方。

12.如權利要求9所述的用于定位階臺的定位機構，其中，該軌道被定位在該階臺下方。