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[發(fā)明專利]鑄造類單晶制備方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201811064511.4 申請日: 2018-09-12
公開(公告)號: CN109161965A 公開(公告)日: 2019-01-08
發(fā)明(設(shè)計)人: 汪沛淵;張濤;白梟龍;歐子楊;晏文勇;李省平;劉文婷;鄧清香;金浩 申請(專利權(quán))人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分類號: C30B29/06 分類號: C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06
代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 代理人: 何世磊
地址: 334100 江西*** 國省代碼: 江西;36
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 坩堝 鑄造 熔化 單晶制備 單晶籽晶 摻雜劑層 摻雜劑 電阻率 單晶 引晶 電阻率分布 均勻鋪設(shè) 母合金 硅料 填入 預(yù)設(shè) 制備 加熱 鋪設(shè) 擴散
【權(quán)利要求書】:

1.一種鑄造類單晶制備方法,其特征在于,包括:

在坩堝底部鋪設(shè)一層含磷的摻雜劑,以形成一摻雜劑層;

在所述摻雜劑層上鋪設(shè)一層類單晶籽晶,以形成一引晶層;

將硅料和母合金依次填入所述坩堝內(nèi);

將坩堝加熱至預(yù)設(shè)溫度,以使所述類單晶籽晶部分熔化。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述摻雜劑包括磷粉和/或N型母合金。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述在坩堝底部鋪設(shè)一層含磷的摻雜劑的步驟之前,所述方法還包括:在所述坩堝的內(nèi)壁噴涂一層氮化硅涂層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述將坩堝加熱至預(yù)設(shè)溫度的步驟之后,所述方法還包括:持續(xù)對所述坩堝加熱并通過一個散熱裝置對其散熱,使其保持所述預(yù)設(shè)溫度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述將硅料和母合金依次填入所述坩堝內(nèi)的步驟包括:將所述坩堝三分之二的容積填入所述硅料后,再將所述母合金填入所述硅料的上端,所述母合金裝填完成后,將剩余所述硅料繼續(xù)裝入所述坩堝中。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述將硅料和母合金依次填入所述坩堝內(nèi)的步驟之前,所述方法包括:在所述坩堝內(nèi)部標記填充位置,所述填充位置從所述坩堝的開口處豎直延伸至所述坩堝內(nèi)部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,鋪設(shè)的所述類單晶籽晶的寬度小于所述坩堝底部的寬度,且鋪設(shè)的所述摻雜劑的寬度小于鋪設(shè)的所述類單晶籽晶的寬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鑄造類單晶制備方法,其特征在于,所述類單晶籽晶平整鋪設(shè)于所述坩堝的底部,且相鄰兩類單晶籽晶之間具有接縫,所述摻雜劑鋪設(shè)于所述接縫中,以形成所述摻雜劑層。

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