[發(fā)明專利]用于OLED面板的掩模及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811064104.3
• 申請(qǐng)日: 2018-09-12
• 公開（公告）號(hào): CN109166984A
• 公開（公告）日: 2019-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 平財(cái)明;謝自民;馮波;陳春明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州藍(lán)沛光電科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11369
• 代理人: 楊勝

本發(fā)明涉及一種用于OLED面板的掩模，其包括由膜形態(tài)的聚合物樹脂制成的基板(10)；以預(yù)定厚度形成在基板(10)的兩個(gè)表面中的至少一個(gè)上的涂層(20)；穿過涂層(20)和基板(10)形成圖案孔(30)。因此，可以改善用于OLED面板的掩模的功能和可用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于OLED面板的掩模及其制造方法，更具體地，涉及用于制造OLED面板的OLED面板掩模及其制造方法。

背景技術(shù)

通常，有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)是指自發(fā)光有機(jī)材料，其通過使用當(dāng)向熒光有機(jī)化合物供應(yīng)電流時(shí)發(fā)光的電致發(fā)光現(xiàn)象來發(fā)光。這些OLED相比于LCD，以較好的圖像質(zhì)量和簡單的制造工藝而需求越來越多。

在現(xiàn)有工藝中，F(xiàn)MM(Fine Metal Mask精細(xì)金屬掩模)或SM(Shadow Mask陰影掩模)已廣泛用于OLED面板掩模。而傳統(tǒng)的OLED面板掩模具有如下結(jié)構(gòu)：以一定厚度涂覆光致抗蝕劑PR的基板上，進(jìn)行蝕刻作業(yè)以形成預(yù)定圖案的圖案孔。上述基板一般由諸如INVAR、SUS等金屬材料制成，具有低的熱膨脹系數(shù)。

然而，由于具有上述結(jié)構(gòu)的用于OLED面板的掩模中基板由金屬材料制成，因此其制造時(shí)間長且昂貴，并且由于金屬的重量而發(fā)生彎曲。目前，對(duì)于小尺寸面板中使用的基板，其在使用后易于通過清潔再循環(huán)。但是對(duì)于大型面板中使用的基板，由于生產(chǎn)和處理過程中易產(chǎn)生損壞，因此很難再循環(huán)。

另外，執(zhí)行曲面作業(yè)相對(duì)困難和復(fù)雜，并且如果超過一定的曲面值，則在實(shí)際上容易發(fā)生變形和破損。

另外，由于與被粘物表面的粘附力(密封力)低，因此會(huì)被污染源污染。

綜上，導(dǎo)致了用于OLED面板的掩模的功能和可用性降低。

發(fā)明內(nèi)容

需要解決的問題：本發(fā)明是為解決上述問題而進(jìn)行的，本發(fā)明需要解決的問題是提供用于OLED面板的掩模及其制造方法，其不僅可以易于曲面作業(yè)，而且還可以有效提高與被附物表面的粘附力。

因此，本發(fā)明提供了一種用于OLED面板的掩模及其制造方法，通過使用低價(jià)聚合物樹脂的基材，并使用Roll to Roll工藝，可以制造出高質(zhì)量和低生產(chǎn)周期的低價(jià)基板，并且由于OLED面板的基板可以在一次性使用后丟棄，因此可以省略基板的回收、洗滌和再循環(huán)過程，從而簡化生產(chǎn)工藝。

解決問題的方法：

本發(fā)明的用于OLED面板的掩模，包括：基板，其由膜形態(tài)的聚合物樹脂制成；涂層，其具有預(yù)定厚度并形成在所述基板的兩個(gè)表面中的至少一個(gè)上；圖案孔，其穿過涂層和基板而形成。

另外，本發(fā)明的用于OLED面板的掩模的制造方法，包括：

基板形成步驟：由膜形態(tài)的聚合物樹脂形成基板；

涂層形成步驟：在基板的兩個(gè)表面中的至少一個(gè)上形成涂層；

圖案孔形成步驟：形成穿過涂層和基板的圖案孔。

技術(shù)效果：根據(jù)本發(fā)明的用于OLED面板的掩模，由于基板由膜形態(tài)的聚合物樹脂制成，因此容易在彎曲表面等上作業(yè)，并且可以進(jìn)一步改善與被粘物表面的粘附性。

涂層還可以增強(qiáng)例如耐久性等物理性質(zhì)。

另外，通過適用聚合物樹脂的基材，可以實(shí)現(xiàn)制造方法的多樣化，并且可以通過卷對(duì)卷工藝提高生產(chǎn)率來提供低廉的基板。此外，與金屬相比生產(chǎn)處理和加工容易，因此可以制造高分辨率的基板，并且不受基板尺寸的拘束能夠制造各種形狀的基板，而且還可以在OLED面板的生產(chǎn)工藝時(shí)，同時(shí)加工以提高生產(chǎn)率。

因此，可以相對(duì)改善用于OLED面板的掩模的功能和可用性。

附圖說明