[發明專利]磁性傳感器設備和方法

有效

• 申請號: 201811063642.0
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN109507619B
• 公開（公告）日: 2021-08-31
• 發明（設計）人: G·賓德;A·薩茨
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01R33/07
• 分類號: G01R33/07
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 鄭立柱;董典紅

1.一種磁性傳感器設備(100)，用于確定磁性部件(170)繞旋轉軸的旋轉速度、旋轉方向和/或旋轉角度，所述磁性傳感器設備包括：

磁體(110)，相對于對稱軸(120)呈旋轉對稱，其中在所述磁體(110)內沿著所述對稱軸(120)形成有凹槽(130)；

第一磁性傳感器元件(140)，被布置在所述對稱軸(120)上的第一位置處的所述凹槽內并且被配置為生成第一輸出信號；

第二磁性傳感器元件(150)，被布置在所述對稱軸(120)上的第二位置處的所述凹槽內并且被配置為生成第二輸出信號，其中所述第一位置和所述第二位置不同；以及

集成電路(160)，被布置在所述凹槽內，并且被配置為基于所述第一輸出信號和所述第二輸出信號來確定所述磁性部件(170)的所述旋轉速度、所述旋轉方向和/或所述旋轉角度。

2.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述磁體(110)到所述對稱軸(120)上的正交投影從所述對稱軸(120)上的第一點延伸到所述對稱軸(120)上的第二點，其中從所述第一磁性傳感器元件(140)到所述對稱軸(120)上的所述第一點的最小距離等于從所述第二磁性傳感器元件(150)到所述對稱軸(120)上的所述第二點的最小距離。

3.根據權利要求2所述的磁性傳感器設備，其中從所述第一磁性傳感器元件(140)到所述對稱軸(120)上的所述第一點的所述最小距離小于從所述對稱軸(120)上的所述第一點到所述對稱軸(120)上的所述第二點的距離的5％。

4.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述磁體(110)沿著所述對稱軸(120)極化。

5.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述凹槽延伸穿過整個所述磁體(110)。

6.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述集成電路(160)被配置為基于所述第一輸出信號和所述第二輸出信號之間的差異來確定所述磁性部件(170)的所述旋轉速度、所述旋轉方向和/或所述旋轉角度。

7.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述磁性部件(170)包括至少一個齒和鄰接的槽。

8.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述第一磁性傳感器元件(140)和所述第二磁性傳感器元件(150)中的至少一個磁性傳感器元件包括磁阻結構。

9.根據權利要求8所述的磁性傳感器設備，其中所述磁阻結構包括：

磁性自由層，被配置為在所述磁性自由層中生成閉合磁通磁化圖案；以及

磁性參考層，具有非閉合磁通參考磁化圖案。

10.根據權利要求8所述的磁性傳感器設備，其中所述磁阻結構的傳遞函數是線性的。

11.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述第一磁性傳感器元件(140)和所述第二磁性傳感器元件(150)中的至少一個磁性傳感器元件包括霍爾效應區域。

12.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，進一步包括封裝件，所述封裝件包封所述磁體(110)。

13.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，進一步包括一個或多個電接觸，用于連接到外部電路，其中所述一個或多個電接觸和所述磁性部件(170)被布置在所述磁體(110)的相對側。

14.根據權利要求1所述的磁性傳感器設備，其中所述對稱軸(120)垂直于所述旋轉軸。