[發明專利]一種晶圓流片生產用加工裝置

在審

• 申請號: 201811060257.0
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN109016195A
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/67
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種晶圓流片生產用加工裝置，包括工作臺（1）、支架（2）、伺服電機（3）、兩組安裝座（4）、兩組切割器（5）和放置架，支架設置在工作臺頂端，伺服電機設置在支架頂端，伺服電機的底部輸出端上設置有轉動軸（6），并在轉動軸上設置有連接架，兩組切割器分別設置在兩組安裝座底端，且兩組切割器輸出端均沖下，放置架設置在工作臺頂端；其特征在于，還包括后支板（7）、左測量件（8）、左測量尺（9）、右測量件和右量尺寸（10），所述連接架包括連接塊（11）、左電動伸縮桿（12）和右電動伸縮桿，連接塊設置在轉動軸底端，所述左電動伸縮桿和右電動伸縮桿分別設置在連接塊左右兩端上，兩組安裝座分別設置在左電動伸縮桿和右電動伸縮桿輸出端上，所述支板設置在支架內頂壁后側，左測量尺和右量尺寸分別設置在支板前端左上區域和右上區域上，所述左測量件和右測量件分別設置在支架左右兩側上，且左測量件和右測量件輸出端分別與左測量尺和右量尺寸接觸；所述放置架包括下伸縮電機（13）和放置板（14），工作臺頂端設置有安裝槽，下伸縮電機設置在安裝槽內，所述下伸縮電機的頂部輸出端上設置有下驅動桿，放置板設置在下驅動桿頂端；還包括固定件（15），所述固定件設置在連接塊底端，且固定件位于放置板正上方；還包括支撐件和透明防護板（16），所述工作臺頂端前側設置有放置槽，支撐件設置在放置槽內，所述透明防護板設置在支撐件頂端，且透明防護板位于放置架前側。

2.如權利要求1所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，所述左測量件包括左支板、左伸縮電機（17）和左測量板（18），右測量件包括右支板（19）、右伸縮電機和右測量板，所述左支板設置在支架內底壁左側，左伸縮電機設置在左支板上，所述左伸縮電機的右部輸出端上設置有左驅動桿，左測量板位于左支板右側，且左驅動桿右端穿過左支板并與左測量板左端連接，所述右支板設置在支架內底壁右側，右伸縮電機設置在右支板上，所述右伸縮電機的左部輸出端上設置有右驅動桿（20），右測量板位于右支板左側，且右驅動桿左端穿過右支板并與右測量板右端連接。

3.如權利要求2所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，所述固定件包括調節件、滾珠軸承（21）和固定板（22），所述連接塊底端設置有固定槽，滾珠軸承設置在固定槽內，所述調節件頂端插入至滾珠軸承內部，固定板設置在調節件底端。

4.如權利要求3所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，所述調節件包括螺紋管（23）和螺紋桿（24），所述螺紋管頂端插入至滾珠軸承內部，螺紋桿頂端插入并螺裝在螺紋管頂端內部，且所述螺紋桿底端與固定板頂端連接。

5.如權利要求4所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，所述支撐件包括兩組下電動伸縮桿（25），所述兩組下電動伸縮桿分別設置在放置槽內底壁左半區域和右半區域上，透明防護板底端插入至放置槽內，且透明防護板底端左半區域和右半區域分別與兩組下電動伸縮桿輸出端連接。

6.如權利要求5所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，還包括左參照板和右參照板（26），所述左參照板和右參照板分別設置在兩組固定座頂端，且左參照板和右參照板分別位于左測量尺和右測量尺前側，左參照板左端和右參照板右端分別與兩組切割器輸出端位于同一水平線上。

7.如權利要求6所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，還包括限位環（27），所述螺紋管上半區域外側壁上設置有環形凹槽，限位環套裝在環形凹槽上，且所述限位環頂端外側與連接塊底端外側連接。

8.如權利要求7所述的一種晶圓流片生產用加工裝置，其特征在于，還包括兩組上支撐架（28）和兩組下支撐架（29），所述兩組上支撐架分別設置在連接塊左端下側和右端下側上，且兩組上支撐架頂端分別與左電動伸縮桿和右電動伸縮桿底端連接，所述兩組下支撐架分別設置在左支板左端下側和右支板右端下側上，且兩組下支撐架頂端分別與左伸縮電機和右伸縮電機底端連接。