[發(fā)明專利]一種用于晶圓生產(chǎn)加工的表面研磨裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811060245.8
• 申請日: 2018-09-12
• 公開（公告）號: CN108922847A
• 公開（公告）日: 2018-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昌華
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇英銳半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/304;B24B37/27;B24B37/34
• 代理公司: 常州市權(quán)航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

1.一種用于晶圓生產(chǎn)加工的表面研磨裝置，包括工作臺（1）和四組支腿（2），四組支腿（2）的頂端分別與工作臺（1）底端的左前側(cè)、左后側(cè)、右前側(cè)和右后側(cè)連接，工作臺（1）的頂端右側(cè)放置有打磨砂盤（4）；其特征在于，包括固定盤（4）、左弧形調(diào)節(jié)板（5）、右弧形調(diào)節(jié)板、左弧形夾板（6）、右弧形夾板、左調(diào)節(jié)螺栓（7）、右調(diào)節(jié)螺栓、左限位圈（8）、右限位圈、多組左緩沖彈簧（9）和多組右緩沖彈簧，所述固定盤（4）的底端與所述工作臺（1）的頂端中部連接，并且固定盤（4）的頂端中部設(shè)置有圓形放置槽，所述圓形放置槽的左端內(nèi)壁和右端內(nèi)壁分別橫向設(shè)置左螺紋通孔和右螺紋通孔，并且左螺紋通孔和右螺紋通孔均與外界相通，所述左弧形調(diào)節(jié)板（5）和右弧形調(diào)節(jié)板分別設(shè)置在所述圓形放置槽內(nèi)部的左側(cè)和右側(cè)，并且所述左限位圈（8）的右端與所述左弧形調(diào)節(jié)板（5）的左端中部連接，并且所述右限位圈的左端與所述右弧形調(diào)節(jié)板的右端中部連接，左限位旋內(nèi)部可轉(zhuǎn)動設(shè)置有左限位盤（10），并且右限位圈內(nèi)部可轉(zhuǎn)動設(shè)置有右限位盤，所述左調(diào)節(jié)螺栓（7）的右端自固定盤（4）的左端螺裝至左螺紋通孔內(nèi)部并旋入至圓形放置槽內(nèi)部，并且左調(diào)節(jié)螺栓（7）的右端穿過左限位圈（8）的左端并伸入至左限位圈（8）內(nèi)部與所述左限位盤（10）的左端同心連接，所述右調(diào)節(jié)螺栓的左端自固定盤（4）的右端螺裝至右螺紋通孔內(nèi)部并旋入至圓形放置槽內(nèi)部，并且右調(diào)節(jié)螺栓的左端穿過右限位圈的右端并伸入至右限位圈內(nèi)部與所述右限位盤的右端同心連接，所述左弧形夾板（6）設(shè)置在左弧形調(diào)節(jié)板（5）的右側(cè)，并且所述多組左緩沖彈簧（9）的右端均布與所述左弧形夾板（6）左端連接，并且多組左緩沖彈簧（9）的左端均布與所述左弧形調(diào)節(jié)板（5）的右端連接，所述右弧形夾板設(shè)置在右弧形調(diào)節(jié)板的左側(cè)，并且所述多組右緩沖彈簧的左端均布與所述右弧形夾板右端連接，并且多組右緩沖彈簧的右端均布與所述右弧形調(diào)節(jié)板的左端連接；還包括兩組左螺紋管（11）、兩組左螺紋桿（12）、兩組右螺紋管、兩組右螺紋桿、固定塊（13）、兩組左限位方柱（14）、兩組右限位方柱、移動塊（15）、帶動電機(jī)（16）、搖臂（17）、環(huán)形調(diào)節(jié)圈（18）、安裝板（19）、限位環(huán)（20）和伸縮桿（21），所述固定塊（13）的底端設(shè)置有方形固定槽，并且所述移動塊（15）的頂端與所述方形固定槽的頂端內(nèi)壁可滑動接觸，所述兩組左限位方柱（14）的右端分別與移動塊（15）左端的前側(cè)和后側(cè)連接，并且兩組左限位方柱（14）的左端分別橫向可滑動穿過方形固定槽的左端內(nèi)壁的前側(cè)和后側(cè)并伸出至板的左端外界，所述兩組右限位方柱的左端分別與移動塊（15）右端的前側(cè)和后側(cè)連接，并且兩組右限位方柱的右端分別橫向可滑動穿過方形固定槽的右端內(nèi)壁的前側(cè)和后側(cè)并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盤（4）橫向設(shè)置在移動塊（15）的底端，所述安裝板（19）的左端與所述方形固定槽左端內(nèi)壁下側(cè)連接，并且所述帶動電機(jī)（16）的后端與所述安裝板（19）的前端左側(cè)連接，所述搖臂（17）的左端與所述帶動電機(jī)（16）的前部輸出端連接，并且搖臂（17）的前端右側(cè)設(shè)置有調(diào)節(jié)軸，所述限位環(huán)（20）的后端與安裝板（19）的前端右側(cè)連接，并且所述伸縮桿（21）的左端與所述環(huán)形調(diào)節(jié)圈（18）的右端中部連接，伸縮桿（21）的右端自限位環(huán)（20）的左端可滑動穿過限位環(huán)（20）的內(nèi)部并伸出至限位環(huán)（20）的右端外界與所述移動塊（15）的左端連接，所述調(diào)節(jié)軸的前端自環(huán)形調(diào)節(jié)圈（18）的后端插入至環(huán)形調(diào)節(jié)圈（18）的內(nèi)部，所述工作臺（1）頂端的左前側(cè)和左后側(cè)均設(shè)置有左固定槽，并且兩組左固定槽內(nèi)部均固定設(shè)置有左滾珠軸承，所述兩組左螺紋管（11）的底端分別插入并固定安裝至兩組左滾珠軸承的頂端內(nèi)部，所述兩組左螺紋桿（12）的頂端分別與所述固定塊（13）底端的左前側(cè)和左后側(cè)連接，并且兩組左螺紋桿（12）的底端分別插入并螺裝至兩組左螺紋管（11）的頂端內(nèi)部，所述工作臺（1）頂端的右前側(cè)和右后側(cè)均設(shè)置有右固定槽，并且兩組右固定槽內(nèi)部均固定設(shè)置有右滾珠軸承，所述兩組右螺紋管的底端分別插入并固定安裝至兩組右滾珠軸承的頂端內(nèi)部，所述兩組右螺紋桿的頂端分別與所述固定塊（13）底端的右前側(cè)和右后側(cè)連接，并且兩組右螺紋桿的底端分別插入并螺裝至兩組右螺紋管的頂端內(nèi)部。