[發明專利]太陽能電池片EL缺陷測試機有效
| 申請號: | 201811059320.9 | 申請日: | 2018-09-12 |
| 公開(公告)號: | CN109245719B | 公開(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發明(設計)人: | 宋玉華;陳慶東 | 申請(專利權)人: | 蘇州獵奇智能設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/66;H01L31/18;H02S50/10;H02S50/00 |
| 代理公司: | 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 215316 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 太陽能電池 el 缺陷 測試 | ||
1.一種太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:包括機架、安裝在所述機架上的傳送機構以及依次設置的上料機構、上電機構和下料機構,所述上料機構包括至少一個第一水平直線模組、至少一個儲料機構和至少一個第一真空吸附機構,所述儲料機構位于所述傳送機構的一側,所述第一真空吸附機構安裝在所述第一水平直線模組上,所述上電機構的上方設置有相機組件,所述上電機構包括升降機構、安裝在所述升降機構上的探針組件和銅板組件,所述探針組件和銅板組件沿豎直方向相對設置,所述銅板組件包括銅板,所述銅板包括銅板本體、設于所述銅板本體上的多個凸起部和兩個通槽,所述通槽沿所述傳送機構的傳送方向延伸,所述下料機構包括至少一個第二水平直線模組、至少一個第二真空吸附機構和分選組件,所述第二真空吸附機構安裝在所述第二水平直線模組上,所述第一水平直線模組帶動所述第一真空吸附機構吸取太陽能電池片放置在所述傳送機構上,所述傳送機構將太陽能電池片傳送至所述探針組件與銅板組件之間,所述升降機構分別驅動所述探針組件往下運動、所述銅板組件向上運動,所述探針組件壓在太陽能電池片的負極面上,所述銅板的凸起部與太陽能電池片的正極面接觸;所述升降機構包括升降組件、安裝在所述升降組件上的上立架和下立架,所述探針組件包括探針架和安裝在所述探針架上的多個探針,所述探針架安裝在所述上立架上,所述銅板安裝在所述下立架上。
2.根據權利要求1所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:所述上立架包括第一立板、與所述第一立板固定的第一基板,所述第一基板上設置有至少一個第一腰形孔,所述第一腰形孔沿水平方向延伸。
3.根據權利要求1或2所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:所述探針架包括兩個探針架體,每個所述探針架體包括兩個第一側板、分別安裝在兩個所述第一側板上的兩個第二側板以及固定在兩個所述第二側板之間的多個支撐桿。
4.根據權利要求3所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:每個所述第二側板上設置有至少一個第二腰形孔,所述第二腰形孔沿豎直方向延伸。
5.根據權利要求1所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:所述下立架包括第二立板、與所述第二立板固定的第二基板,所述第二基板上設置有至少一個第三腰形孔,所述第三腰形孔沿水平方向延伸。
6.根據權利要求1所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:還包括至少一個導正機構,所述導正機構包括導正氣缸、與所述導正氣缸的活塞桿連接的推板、分別與所述推板的兩端活動連接的兩個導正組件。
7.根據權利要求6所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:每個所述導正組件包括兩個立柱、連接兩個所述立柱的支桿。
8.根據權利要求1所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:所述分選組件包括多個分選盒,多個所述分選盒分別位于所述傳送機構的兩側。
9.根據權利要求1所述的太陽能電池片EL缺陷測試機,其特征在于:所述傳送機構的尾端設置有接料盒。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





