[發明專利]掃描透射電子顯微成像方法和系統在審
| 申請號： | 201811057343.6 | 申請日： | 2018-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN109166781A | 公開（公告）日： | 2019-01-08 |
| 發明（設計）人： | 王義林 | 申請（專利權）人： | 鎮江樂華電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/22 | 分類號： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 杭州裕陽聯合專利代理有限公司 33289 | 代理人： | 姚宇吉 |
| 地址： | 212400 江蘇省鎮江市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描點 電子束 掃描 透射電子 顯微成像 旋進 加權疊加 衍射襯度 點信息 襯度 衍射 單個掃描 電子衍射 信息轉換 旋轉一周 靈敏度 暗場像 分辨率 運動學 圖像 | ||
1.一種掃描透射電子顯微成像方法，其特征在于，包括以下步驟：
控制電子束在樣品上方進行逐點的旋進掃描，在樣品下方得到衍射點信息，其中，電子束對樣品的逐點的旋進掃描通過控制電子束在每個掃描點旋轉一周，并間隔角度取若干掃描點，然后將若干間隔選取的掃描點加權疊加生成的掃描點代替原先單個掃描點；
通過選取高角度的衍射點信息，得到電流強度信息；
根據電流強度信息轉換成衍射襯度信息，根據衍射襯度信息得到樣品的暗場像。
2.根據權利要求1所述的掃描透射電子顯微成像方法，其特征在于，所述電子束對樣品的逐點的旋進掃描通過控制電子束在每個掃描點通轉一周，并間隔角度取若干掃描點，包括以下步驟：
每間隔30°選取共12個特征角度的掃描點進行加權疊加。
3.根據權利要求1或2所述的掃描透射電子顯微成像方法，其特征在于，還包括以下步驟：
在電子束旋進過程中，進行去掃描轉換，保證掃描的支點和去掃描的支點位于衍射的前焦面和后焦面上。
4.一種掃描透射電子顯微成像系統，其特征在于，包括：
掃描線圈，用于控制電子束在樣品上方進行逐點的旋進掃描，在樣品下方得到衍射點信息，其中，電子束對樣品的逐點的旋進掃描通過控制電子束在每個掃描點通轉一周，并間隔角度取若干掃描點；
處理單元，用于將若干間隔選取的掃描點加權疊加生成的掃描點代替原先單個掃描點；
HAADF掃描探頭，用于通過選取高角度的衍射點信息，得到電流強度信息；以及
成像單元，用于根據電流強度信息轉換成衍射襯度信息，根據衍射襯度信息得到樣品的暗場像。
5.根據權利要求4所述的掃描透射電子顯微成像系統，其特征在于，所述掃描線圈用于每間隔30°選取共12個特征角度的掃描點進行加權疊加。
6.根據權利要求4或5所述的掃描透射電子顯微成像系統，其特征在于，還包括去掃描轉換單元，用于在電子束旋進過程中，進行去掃描轉換，保證掃描的支點和去掃描的支點位于衍射的前焦面和后焦面上。
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