[發(fā)明專利]一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811050739.8 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-10 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109273375B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王輝;全慶霄;姜巖峰;符愛(ài)風(fēng);王嫚 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 無(wú)錫豪幫高科股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/60 | 分類號(hào): | H01L21/60;H01L23/488;H01L21/67;H05K3/34 |
| 代理公司: | 北京中濟(jì)緯天專利代理有限公司 11429 | 代理人: | 趙海波;曹鍵 |
| 地址: | 214000 *** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 融合 smt mcm 集成電路 封裝 方法 | ||
本發(fā)明涉及的一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法,其特征在于采用一種融合SMT的MCM集成電路封裝結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)流水線進(jìn)行作業(yè),在金屬引線框架上通過(guò)錫膏焊接有源器件,金屬引線框架上通過(guò)銀膠粘貼芯片;一種融合SMT的MCM集成電路封裝結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)流水線,它從前之后依次包括引線框架上料裝置、鋼網(wǎng)印刷裝置、第一AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置、有源器件安裝裝置、回流焊裝置、第二AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置、芯片安裝裝置、第一烘烤裝置、鍵合裝置、塑封裝置、第二烘烤裝置、打標(biāo)裝置、電鍍裝置、成型切筋裝置、外觀檢測(cè)包裝裝置。本發(fā)明的一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法具有提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,保證生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法。
背景技術(shù)
傳統(tǒng)的MCM集成電路封裝結(jié)構(gòu)一般單獨(dú)采用一級(jí)封裝或者二級(jí)封裝中的一種形式進(jìn)行生產(chǎn)。
一級(jí)封裝,是指單芯片封裝或多芯片在金屬引線框架上做的封裝,芯片通過(guò)銀膠安裝在引線框架上。
二級(jí)封裝,是指各種元器件和集成電路,通過(guò)SMT方式焊接在線路板上。SMT是表面組裝技術(shù)(表面貼裝技術(shù))(Surface Mount Technology的縮寫),稱為表面貼裝或表面安裝技術(shù)。是目前電子組裝行業(yè)里最流行的一種技術(shù)和工藝。SMT是一種將無(wú)引腳或短引線表面組裝元器件(簡(jiǎn)稱SMC/SMD,中文稱片狀元器件)安裝在印制電路板(Printed CircuitBoard,PCB)的表面或其它基板的表面上,通過(guò)回流焊或浸焊等方法加以焊接組裝的電路裝連技術(shù)。PCB板精度不夠不符合摩爾定律,二級(jí)封裝存在散熱困難的缺陷。
多個(gè)半導(dǎo)體芯片在金屬框架上封裝都是采用裝片銀膠的方式,粘接在金屬框架上。
而二級(jí)封裝是采用錫膏將各種元器件和集成電路及接口焊接在線路板上的。
裝片銀膠工藝性能好,導(dǎo)電性能散熱性能也相當(dāng)優(yōu)異。但是,在多種元器件封裝時(shí),有源器件如MOS,無(wú)源器件如電阻電容,和硅材料的芯片封裝在同一封裝體內(nèi)時(shí),0.1mm2焊接尺寸的電阻電容采用1mm級(jí)別的硅芯片的銀膠裝片工藝時(shí),速度慢、精度低。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述不足,提供提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本,保證生產(chǎn)產(chǎn)品質(zhì)量的一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
一種融合SMT的MCM集成電路封裝方法,采用一種融合SMT的MCM集成電路封裝結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)流水線進(jìn)行作業(yè),在金屬引線框架上通過(guò)錫膏焊接有源器件,金屬引線框架上通過(guò)銀膠粘貼芯片。
一種融合SMT的MCM集成電路封裝結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)流水線,它從前至后依次包括引線框架上料裝置、鋼網(wǎng)印刷裝置、第一AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置、有源器件安裝裝置、回流焊裝置、第二AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置、芯片安裝裝置、第一烘烤裝置、鍵合裝置、塑封裝置、第二烘烤裝置、打標(biāo)裝置、電鍍裝置、成型切筋裝置、外觀檢測(cè)包裝裝置。
具體生產(chǎn)方法如下:
步驟一、引線框架上料裝置將引線框架上料;
步驟二、鋼網(wǎng)印刷裝置通過(guò)鋼網(wǎng)在引線框架上進(jìn)行印刷;
步驟三、第一AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置對(duì)鋼網(wǎng)印刷后的金屬引線框架進(jìn)行檢測(cè);
步驟四、有源器件安裝裝置在金屬引線框架上安裝有源器件;
步驟五、在回流焊裝置內(nèi)將安裝有源器件的金屬引線框架進(jìn)行回流焊,在此過(guò)程中回流焊裝置內(nèi)保持氮?dú)獗Wo(hù),通過(guò)氮?dú)獗Wo(hù)的回流焊裝置,使有源器件與金屬框架緊密粘接;
步驟六、第二AOI自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)裝置對(duì)回流焊完成的金屬引線框架進(jìn)行檢測(cè);有不合格之處記錄至數(shù)據(jù)庫(kù),該處不進(jìn)行后續(xù)芯片安裝作業(yè);
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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