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[發明專利]光纖預制多孔體的沉積方法及裝置在審

專利信息
申請號: 201811050405.0 申請日: 2018-09-10
公開(公告)號: CN108793722A 公開(公告)日: 2018-11-13
發明(設計)人: 許松松;呂巖;蔣尊標;郭璞;錢亮;胡付儉;田國才 申請(專利權)人: 江蘇亨通光導新材料有限公司;江蘇亨通光電股份有限公司
主分類號: C03B37/018 分類號: C03B37/018
代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293 代理人: 劉彥
地址: 215200 江蘇省*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 多孔體 預制多孔體 中心偏離 監測點 光纖 噴燈 沉積 沉積方法及裝置 沉積裝置 數據調節 一致性好 同心度 芯包 糾正
【權利要求書】:

1.一種光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,包括步驟X;所述步驟X包括:

獲取多孔體在監測點處的中心偏離數據;

基于所述中心偏離數據,調節監測點處的噴燈熱量、或調節多孔體的轉速。

2.根據權利要求1所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,根據如下公式計算Q,然后調節監測點處的噴燈熱量至Q:

Q=△P/m+Q0

其中,△P代表多孔體在監測點處的中心偏離值;Q0代表監測點處的噴燈的初始熱量;m的取值范圍為0.015mm·min/L~1mm·min/L。

3.根據權利要求1所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,根據如下公式計算V,然后調節多孔體的轉速至V:

V=△P*/n+V0

其中,△P*代表多孔體在所有監測點處的中心偏離值的平均值;V0代表多孔體的初始轉速;n的取值范圍為0.025mm·min/r~0.2mm·min/r。

4.根據權利要求1所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,所述監測點沿多孔體的軸向均勻分布。

5.根據權利要求4所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,所述監測點的個數為10~30個。

6.根據權利要求1所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,當多孔體的直徑小于等于80mm時,每隔15min執行一次步驟X;當多孔體的直徑大于80mm時,每隔30min執行一次步驟X。

7.根據權利要求1所述的光纖預制多孔體的沉積方法,其特征在于,當檢測到中心偏離大于1mm,停止沉積。

8.一種光纖預制多孔體的沉積裝置,其特征在于,包括:

噴燈,用于向靶棒沉積二氧化硅粉塵;

靶棒驅動機構,用于驅動靶棒沿其軸心線旋轉;

檢測機構,用于檢測多孔體的中心偏離數據;

以及控制單元,基于所述中心偏離數據調節所述噴燈的熱量或多孔體的轉速。

9.根據權利要求8所述的光纖預制多孔體的沉積裝置,其特征在于,所述檢測機構包括測徑組件、以及驅動所述測徑單元沿平行于靶棒的軸心線的方向移動的測徑移動組件。

10.根據權利要求9所述的光纖預制多孔體的沉積裝置,其特征在于,所述測徑組件包括用于測量多孔體在第一方向上的中心點位置的第一測徑儀、以及用于測量多孔體在第二方向上的中心點位置的第二測徑儀;

所述第一方向、所述第二方向、與靶棒的軸心線兩兩垂直。

11.根據權利要求10所述的光纖預制多孔體的沉積裝置,其特征在于,所述第一測徑儀、以及所述第二測徑儀為像素測徑儀。

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