[發(fā)明專利]一種改變六苯并蔻類盤(pán)狀液晶分子取向的方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201811048132.6
• 申請(qǐng)日: 2018-09-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109061951A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張智;易子川;楊健君;劉黎明;遲鋒;水玲玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)中山學(xué)院
• 主分類號(hào): G02F1/1337
• 分類號(hào): G02F1/1337
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種改變六苯并蔻類盤(pán)狀液晶分子取向的方法，其特征在于步驟如下：

（1）用氮化鎵作為襯底，分別采用丙酮、異丙醇、去離子水對(duì)所述襯底進(jìn)行超聲清洗，每次清洗時(shí)間15min，然后用氮?dú)馇謇硭鲆r底表面；

（2）采用磁控濺射方法在所述襯底表面沉積ZnO薄膜，靶材為99.9%鋅靶，襯底溫度200℃，氧氣流量2sccm，射頻功率150W，濺射時(shí)間20min，即制得ZnO薄膜襯底；

（3）將所述ZnO薄膜襯底放入馬弗爐中，400℃高溫退火25min，然后在所述ZnO薄膜上旋涂厚度為70nm的PMMA薄膜，放入真空干燥箱中150℃干燥20min；

（4）采用電子束光刻系統(tǒng)對(duì)所述PMMA薄膜進(jìn)行曝光，刻蝕圖案為排列整齊的圓點(diǎn)，所述圓點(diǎn)的直徑為30nm，所述圓點(diǎn)之間的間隔為80-150nm，然后采用20%異丙醇和80%甲基異丁酮的混合溶劑進(jìn)行顯影1min；

（5）將步驟（4）制得的襯底放入裝有前驅(qū)體溶液的反應(yīng)釜中，95℃反應(yīng)生長(zhǎng)1h，然后取出干燥，即制得垂直于所述襯底排列的ZnO納米棒陣列膜層；

（6）將六苯并蔻類盤(pán)狀液晶溶于濃度為0.5w%的氯仿溶液中，然后將所述氯仿溶液滴到ZnO納米棒陣列膜層上，同時(shí)所述襯底加熱到40℃靜置15min。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變六苯并蔻類盤(pán)狀液晶分子取向的方法，其特征在于所述前驅(qū)體溶液由0.03mol/L的六水合硝酸鋅、0.03mol/L的六亞甲基四胺和0.008mol/L的聚乙烯亞胺組成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的改變六苯并蔻類盤(pán)狀液晶分子取向的方法，其特征在于所述ZnO納米棒陣列膜層的厚度大于PMMA薄膜的厚度。