[發明專利]一種輔助硬通孔掩膜版和樣品進行精確對準的裝置

有效

• 申請號: 201811047890.6
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN109065493B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 包文中;昝武;郭曉嬌;胡榮民;周鵬
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司 31200
• 代理人: 陸飛;陸尤

1.一種輔助硬通孔掩膜版和樣品進行精確對準的裝置，其特征在于，包括：樣品托盤（1），載物圓盤（3），載物圓盤夾具（2），掩膜版吸附頭（5），位移調節裝置（6），顯微鏡（7）；其中，樣品托盤（1）用于裝載樣品；樣品托盤（1）通過載物圓盤夾具（2）同軸固定于載物圓盤（3）上；樣品固定在樣品托盤（1）上；載物圓盤（3）具有旋轉調整自由度，載物圓盤（3）旋轉帶動樣品托盤（1）旋轉，從而精確控制樣品旋轉角度；位移調節裝置（6）具有X、Y、Z三軸的旋轉和水平調整自由度；位移調節裝置（6）有一伸出臂，掩膜版吸附頭（5）固定在伸出臂上，通孔硬掩膜版（4）放置于掩膜版吸附頭（5）底部，掩膜版吸附頭（5）底部設有小孔，可以在外部泵機抽力的作用下吸附住通孔硬掩膜版（4）；通過位移調節裝置（6），可以精確調整通孔硬掩膜版（4）的位置；載物圓盤（3）和位移調節裝置（6）固定在同一水平板上；

通孔硬掩膜版吸附方式有兩種：

方式一：所述通孔硬掩膜版吸附頭（5）底部有可與外部抽氣泵機相連的小孔，外部泵機抽氣時可以吸附通孔硬掩膜版（4），關閉氣泵，通孔硬掩膜版（4）即可與吸附頭（5）分離；

方式二：采用電磁鐵吸附，在通孔硬掩膜版（4）相應的位置需附加鐵片，通過電流的開關來控制吸附與否；

樣品托盤（1）上還設有彈性夾具（8），另外附設一磁性薄片（9），用于固定對準后樣品與通孔硬掩膜版（4）。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，對準操作在顯微鏡（7）的幫助下進行，透過通孔硬掩膜版（4）的鏤空區域觀察到樣品托盤（1）上樣品的形貌，通過調節位移調節裝置（6）對應的螺紋桿來帶動與之相連的掩膜版吸附頭（5）；首先利用水平自由度調整使通孔硬掩膜版（4）與樣品表面保持平行，隨后對通孔硬掩膜版（4）在X、Y方向上進行相對位移的對準操作，最后通過Z方向的調整將通孔硬掩膜版與樣品貼緊，從而完成對準操作。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，對準完成后，將樣品與通孔硬掩膜版固定方式有兩種：

方式一、采用固定在樣品托盤（1）上的彈性夾具（8）來固定通孔硬掩膜版（4）；

方式二、采用磁性薄片（9）通過與鐵質樣品托盤產生的磁性吸力固定通孔硬掩膜版（4）。