[發(fā)明專利]全內(nèi)反射棱鏡單元、全內(nèi)反射棱鏡組件和用于形成線光束的設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811045378.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-09-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109782381A | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李貞徹 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 三星電子株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/04 | 分類號(hào)： | G02B5/04 |
| 代理公司： | 北京市立方律師事務(wù)所 11330 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 全反射表面 全反射 全內(nèi)反射棱鏡 棱鏡 垂直的 線光束 設(shè)備提供 不連續(xù) 入射 | ||
提供了一種全內(nèi)反射棱鏡單元、全內(nèi)反射棱鏡組件和用于形成線光束的設(shè)備。所述全內(nèi)反射棱鏡單元可包括第一棱鏡和第二棱鏡。所述第一棱鏡可包括第一全反射表面和第二全反射表面，所述第一全反射表面使在第一水平方向上入射的光沿著與所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射，所述第二全反射表面使從所述第一全反射表面全反射的光沿著所述第一水平方向全反射，以形成第一光束。所述第二棱鏡可包括第三全反射表面和第四全反射表面，所述第三全反射表面使所述光沿著與所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射，所述第四全反射表面使從所述第三全反射表面全反射的光沿著所述第一水平方向全反射，以形成第二光束。所述第二光束可沿著所述第三水平方向與所述第一光束是不連續(xù)的。
相關(guān)申請(qǐng)的交叉引用
于2017年11月13日提交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(KIOP)的標(biāo)題為“Total InternalReflection Prism Unit,Total Internal Reflection Prism Assembly Including theSame and Apparatus for Forming a Line Beam Including the Same”(全內(nèi)反射棱鏡單元、包括其的全內(nèi)反射棱鏡組件和包括其的形成線光束的設(shè)備)的第10-2017-0150751號(hào)韓國(guó)專利申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容以引用方式并入本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
示例實(shí)施例涉及全內(nèi)反射棱鏡單元、包括其的全內(nèi)反射棱鏡組件和包括其的形成線光束的設(shè)備。更具體地，示例實(shí)施例涉及重新分布光以形成均勻線光束的全內(nèi)反射棱鏡單元、包括該全內(nèi)反射棱鏡單元的全內(nèi)反射棱鏡組件和包括該全內(nèi)反射棱鏡單元的形成線光束的設(shè)備。
背景技術(shù)
可使用線光束來(lái)制造或測(cè)試半導(dǎo)體器件。可通過(guò)使光穿過(guò)非球面透鏡或鮑威爾棱鏡(Powell lens)來(lái)形成線光束。根據(jù)相關(guān)技術(shù)，可根據(jù)非球面透鏡或鮑威爾棱鏡的形狀確定線光束的均勻性。因此，為了形成均勻的線光束，需要根據(jù)所設(shè)計(jì)的形狀來(lái)制成非球面透鏡或鮑威爾棱鏡。
然而，當(dāng)非球面透鏡或鮑威爾棱鏡例如由于工藝失敗而偏離所設(shè)計(jì)的形狀時(shí)，可能沒(méi)有適當(dāng)?shù)匦纬删鶆虻木€光束。此外，由于非球面透鏡或鮑威爾棱鏡的組裝失敗，導(dǎo)致線光束可能不均勻。
發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)示例實(shí)施例，可提供一種全內(nèi)反射棱鏡單元。所述全內(nèi)反射棱鏡單元可包括第一棱鏡和第二棱鏡。所述第一棱鏡可包括第一全反射表面和第二全反射表面。所述第一全反射表面可使在第一水平方向上入射的光沿著與所述第一水平方向基本垂直的第二水平方向全反射。所述第二全反射表面可使從所述第一全反射表面全反射的光沿著所述第一水平方向全反射，以形成第一光束。所述第二棱鏡可包括第三全反射表面和第四全反射表面。所述第三全反射表面可使所述光沿著與所述第一水平方向基本垂直的第三水平方向全反射。所述第四全反射表面可使從所述第三全反射表面全反射的光沿著所述第一水平方向全反射，以形成第二光束。所述第二光束可沿著所述第三水平方向與所述第一光束是不連續(xù)的。
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