[發明專利]圖案描繪裝置及基板處理裝置

有效

• 申請號: 201811044160.0
• 申請日: 2016-09-27
• 公開（公告）號: CN108931899B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 加藤正紀;中山修一
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G03G15/04
• 分類號: G03G15/04;G02B13/00;G02B26/12;G02F1/11
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王濤

1.一種圖案描繪裝置，其將在基板上以聚焦光在主掃描方向上掃描的多個描繪單元在上述主掃描方向上排列，并藉由上述描繪單元的各個所進行的聚焦光的掃描在上述基板上描繪圖案，且具備：

光源裝置，其將成為上述聚焦光的射束作為大致平行的激光射出；

多個選擇用光學元件，其與上述多個描繪單元的各個對應而設，且以依序透過來自上述光源裝置的大致平行的上述射束的方式設置，并在施加驅動信號時相對上述射束產生偏向的繞射光射束；

中繼系統，其使上述多個選擇用光學元件的各個成為光學上共軛的關系，并在依上述射束透過的順序成為前段與后段關系的2個上述選擇用光學元件之間形成上述射束的光束腰；及

分支反射鏡，其配置在上述光束腰的位置或在其附近的位置，且將由上述成為前段的選擇用光學元件產生的上述繞射光朝向對應的1個上述描繪單元反射。

2.如權利要求1所述的圖案描繪裝置，其中

上述中繼系統包含：

第1透鏡系統，其供透過上述成為前段的選擇用光學元件的大致平行的上述射束射入并聚光在上述光束腰的位置，并在前側焦點的位置配置上述成為前段的選擇用光學元件；及

第2透鏡系統，其使從上述光束腰發散的上述射束成為大致平行的光束，并在后側焦點的位置配置上述成為后段的選擇用光學元件。

3.如權利要求2所述的圖案描繪裝置，其中

上述多個選擇用光學元件的各個是聲光調變元件，其在施加上述驅動信號的接通狀態的期間，產生以對應上述驅動信號的頻率的繞射角偏向的大致平行的上述繞射光射束及不偏向而行進的大致平行的0次光射束，

上述第1透鏡系統，其將在上述接通狀態時產生的上述0次光射束的光束腰的位置及上述繞射光射束的光束腰的位置在上述繞射角的方向上分離形成。

4.如權利要求3所述的圖案描繪裝置，其中

上述分支反射鏡具有僅反射在上述光束腰的位置分離的上述繞射光射束的反射面。

5.如權利要求4所述的圖案描繪裝置，其中

上述光源裝置是脈沖激光光源，且包含：

脈沖光源部，其將成為上述射束的起源的種子光以既定的頻率Fa產生成脈沖狀；

電光調變器，其響應與上述圖案對應的描繪數據，以電性控制調變上述脈沖狀的種子光的波峰強度；

光放大器，其將被調變的上述脈沖狀的種子光放大；及

波長轉換光學元件，其將放大后的上述脈沖狀的種子光的諧波作為上述頻率Fa的脈沖狀的上述射束而生成。

6.如權利要求5所述的圖案描繪裝置，其中

將來自上述脈沖光源部的上述種子光的上述頻率Fa設定為數百Mhz。

7.如權利要求6所述的圖案描繪裝置，其中

將來自上述脈沖光源部的上述種子光的上述頻率Fa設定為400Mhz。

8.如權利要求5至7中任一權利要求所述的圖案描繪裝置，其中

將以上述聚焦光的掃描在上述基板上形成的描繪線上的上述聚焦光的有效大小設為φ、將上述聚焦光的掃描速度設為Vs時，以上述頻率Fa的周期1/Fa較由φ/Vs決定的時間短的方式設定上述頻率Fa。

9.如權利要求1至7中任一權利要求所述的圖案描繪裝置，其中

上述多個描繪單元的各個具有：

旋轉多面鏡，其為了上述聚焦光的掃描而將通過上述分支反射鏡射入的上述繞射光射束以多個反射面的各個依序偏向；

掃描用透鏡系統，其供以該旋轉多面鏡偏向的上述繞射光射束射入并聚光成上述聚焦光；及

原點感測器，其產生上述旋轉多面鏡的多個反射面的各個成為每個既定的旋轉角度時變化成脈沖狀的原點信號。