[發明專利]液體噴射頭、液體噴射裝置以及壓電器件

有效

• 申請號: 201811042820.1
• 申請日: 2018-09-07
• 公開（公告）號: CN109484031B
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 橫山直人;中山雅夫;平井榮樹
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/01;H01L41/04
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;權太白

本發明提供一種在抑制振動板的位移量的降低的同時確保振動板的強度的液體噴射頭、液體噴射裝置以及壓電器件。液體噴射頭具備：噴嘴，其對液體進行噴射；流道基板，其形成有與所述噴嘴連通的壓力室和與所述壓力室連通的液體供給室；振動板，其被設置于所述流道基板上，且與所述壓力室和所述液體供給室重疊；以及壓電元件，其被形成于所述振動板中的與所述壓力室相反的一側，所述振動板中的與所述壓力室重疊的部分的厚度和所述振動板中的與所述液體供給室重疊的部分的厚度相比而較薄。

技術領域

本發明涉及一種液體噴射頭的結構。

背景技術

目前，提出了一種通過壓電元件使構成壓力室的壁面的振動板振動而從噴嘴噴射出壓力室內的液體的液體噴射頭。例如，在專利文獻1中，公開了一種用振動板將形成有油墨供給室、獨立流道以及獨立液室的流道基板覆蓋的結構。在振動板中的與油墨供給室相對應的部分上形成有具有過濾器功能的油墨供給口，在振動板中的與獨立液室相對應的部分形成有壓電元件。

但是，在專利文獻1的技術中，由于振動板的厚度在整個區域中是恒定的，因此，難以同時確保振動板中的與獨立液室相對應的部分的位移量和振動板中的與油墨供給室相對應的部分的強度。

專利文獻1：日本特開2013-000993號公報

發明內容

考慮到以上的事實情況，本發明的優選的方式的目的在于，在確保振動板的位移量的同時確保振動板的強度。

方式一

為了解決以上的技術問題，本發明的優選方式(方式一)所涉及的液體噴射頭具備：噴嘴，其對液體進行噴射；流道基板，其形成有與所述噴嘴連通的壓力室和與所述壓力室連通的液體供給室；振動板，其被設置于所述流道基板上，且與所述壓力室和所述液體供給室重疊；以及壓電元件，其被形成于所述振動板中的與所述壓力室相反的一側，所述振動板中的與所述壓力室重疊的部分的厚度和所述振動板中的與所述液體供給室重疊的部分的厚度相比而較薄。在以上的方式中，由于振動板中的與壓力室重疊的部分的厚度和振動板中的與液體供給室重疊的部分的厚度相比而較薄，因此，與振動板的厚度無論振動板的位置如何都是恒定的結構相比較，能夠在確保振動板中的與壓力室重疊的部分的位移量的同時確保振動板中的與液體供給室重疊的部分的強度。

方式二

在方式一的優選例(方式二)中，所述振動板中的與所述液體供給室重疊的部分包含形成有多個貫通孔的過濾器部。在以上的方式中，由于振動板包含過濾器部，因此，能夠對液體中所包含的氣泡或異物進行捕集。此外，由于振動板也作為過濾器部而發揮功能，因此，與將過濾器部設置為和振動板不同的要素的結構相比較，簡化了液體噴射頭的結構。

方式三

在方式一或者方式二的優選例(方式三)中，在所述振動板中的與所述壓力室重疊的部分中的靠該壓力室側的表面上形成有與其他的部分相比凹陷的凹部。在以上的方式中，由于在振動板中的與壓力室重疊的部分中的靠該壓力室側的表面上形成有與其他部分相比而凹陷的凹部，因此，和在振動板中的與壓力室相反的一側的表面上形成有凹部的結構相比較，能夠充分地確保壓力室的容量。

方式四

在方式三的優選例(方式四)中，所述振動板中的與所述液體供給室重疊的部分中的靠該液體供給室側的表面由壓縮應力膜形成，在所述振動板中的與所述壓力室重疊的部分中的靠該壓力室側的表面上未形成有所述壓縮應力膜。在以上的方式中，由于振動板中的與液體供給室重疊的部分中的靠該液體供給室側的表面由壓縮應力膜形成，在振動板中的靠壓力室側的表面上未形成有壓縮應力膜，因此，振動板中的與壓力室重疊的部分向壓電元件側撓曲。因此，與振動板中的靠液體供給室側的表面由拉伸應力膜形成、并在壓力室側的表面上未形成有拉伸應力膜的結構(即，振動板向壓力室側撓曲的結構)相比較，能夠抑制壓電元件的劣化。

方式五