[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)小工件卡具的使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811039602.2
• 申請日: 2018-09-06
• 公開（公告）號: CN108941942B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐文峰;廖曉玲;徐紫宸;楊梅
• 申請（專利權(quán)）人: 廣西中科藍(lán)谷半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K37/04
• 代理公司: 北京虹澤知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 16008
• 代理人: 蔣尊龍

1.一種光刻機(jī)小工件卡具的使用方法，使用的卡具由升降旋轉(zhuǎn)功能裝置、光點(diǎn)定位功能裝置、固定功能裝置三部分組成；其整體結(jié)構(gòu)，從下往上分別是最底下的底座臺，外空心柱和內(nèi)部的內(nèi)空心柱，最上面是透明材質(zhì)的工件臺；

所述升降旋轉(zhuǎn)功能裝置是由內(nèi)空心柱和外空心柱組成；內(nèi)空心柱與外空心柱配合套在一起，內(nèi)空心柱能夠在外空心柱內(nèi)受控制地上下移動和旋轉(zhuǎn)；內(nèi)空心柱的頂部與工件臺的下底中間部位，能夠連接固定或者拆開；內(nèi)空心柱與工件臺在連接狀態(tài)下，內(nèi)空心柱能夠帶動工件臺一起轉(zhuǎn)動和上下升降；外空心柱的底部環(huán)狀端面加工有光滑的、耐摩擦材料；

所述光點(diǎn)定位功能裝置，是由安裝固定在內(nèi)空心柱的光源發(fā)生器、和光源發(fā)生器下部連接的定位光點(diǎn)發(fā)生器，以及安裝在底座臺上表面的感光坐標(biāo)屏和顯示屏組成；定位光點(diǎn)發(fā)生器能夠?qū)⒐庠窗l(fā)生器產(chǎn)生的平行光自動聚焦到感光坐標(biāo)屏上，產(chǎn)生細(xì)小的明亮的定位光點(diǎn)；每個定位光點(diǎn)發(fā)生器產(chǎn)生的定位光點(diǎn)的光強(qiáng)或波長不同，都標(biāo)記有區(qū)分標(biāo)識，并存儲在感光坐標(biāo)屏和顯示屏主板內(nèi)；每個定位光點(diǎn)發(fā)生器均安裝有一個工件定位光點(diǎn)傳輸桿與工件臺相連；工件定位光點(diǎn)傳輸桿內(nèi)部裝有玻璃光纖，能夠?qū)⒍ㄎ还恻c(diǎn)發(fā)生器聚焦產(chǎn)生的細(xì)小明亮的定位光點(diǎn)向上垂直傳射到工件臺；透明的工件臺在每個工件定位光點(diǎn)傳輸桿的對應(yīng)位置，均加工有對應(yīng)的工件定位光點(diǎn)標(biāo)識；定位光點(diǎn)發(fā)生器向下發(fā)光口的光路垂直于外空心柱空心的底部端面，能夠無遮擋射出；外空心柱放在感光坐標(biāo)屏的上表面上，能夠在感光坐標(biāo)屏的上表面上自由水平滑動；感光坐標(biāo)屏的內(nèi)部建有坐標(biāo)系，感光坐標(biāo)屏安裝在底座臺的上表面；底座臺的正立面是底邊向前突出的一個斜面，在斜面上安裝有顯示屏；顯示屏能夠?qū)⒏泄庾鴺?biāo)屏感受到的不同的定位光點(diǎn)發(fā)生器產(chǎn)生的不同的定位光點(diǎn)，在感光坐標(biāo)屏坐標(biāo)系上的位置坐標(biāo)全部顯示出來；

所述固定功能裝置包括工件臺的上表面對稱固定安裝的4條或4條以上的工件固定裝置，以及底座臺上的鎖定支架；工件固定裝置有彈性伸縮臂；工件通過彈性伸縮臂產(chǎn)生的彈力固定于工件臺上；鎖定支架中間加工有直徑與外空心柱的外直徑相配合一致的圓孔；鎖定支架過中心圓孔的直徑分為兩半，兩半合并在一起時，中心圓孔能夠?qū)⑼饪招闹o密抱住；鎖定支架的大小尺寸大于工件臺的尺寸；高度尺寸低于外空心柱外壁上加工的部件的位置高度；鎖定支架的兩半部分通過卡扣連接或強(qiáng)磁吸貼；其特征在于，使用方法包含如下步驟：

（a）第一步，放置卡具；將底座臺放置在光刻機(jī)發(fā)光器下的工作臺上，找好水平后固定；

（b）第二步，選擇光源發(fā)生器規(guī)格；首先根據(jù)工件的大小、加工要求選擇具有合適數(shù)量的定位光點(diǎn)發(fā)生器的光源發(fā)生器規(guī)格，將選好規(guī)格的光源發(fā)生器安裝在內(nèi)空心柱中，然后將內(nèi)空心柱與工件臺連接固定；

（c）第三步，工件對準(zhǔn)固定；將待加工的工件放在工件臺上，并按照透明材質(zhì)的工件臺上表面的工件定位光點(diǎn)標(biāo)識，選擇工件上的加工前標(biāo)記的位置，移動工件對準(zhǔn)工件定位光點(diǎn)標(biāo)識，然后通過工件固定裝置固定在工件臺上；

（d）第四步，調(diào)節(jié)光刻位置；將以上準(zhǔn)備好的工件臺和內(nèi)、外空心柱放置在底座臺的感光坐標(biāo)屏上，打開光刻機(jī)、感光坐標(biāo)屏和光源發(fā)生器的電源；水平移動外空心柱到光刻機(jī)發(fā)光器指示燈下，安放鎖定支架鎖定水平位置；調(diào)節(jié)伸縮旋轉(zhuǎn)裝置：通過手動，將內(nèi)空心柱沿高度定位槽在外空心柱內(nèi)升降，確定好最佳高度，然后將外空心柱上的緊固裝置鎖緊，固定高度；或者，打開外空心柱上的電動開關(guān)，采用電動方式使內(nèi)空心柱升降到使用所需的最佳高度，關(guān)閉電動開關(guān)鎖定高度；

（e）第五步，加工；首先存儲底座臺上顯示屏顯示的感光坐標(biāo)屏的各個工件定位光點(diǎn)標(biāo)識的水平坐標(biāo)數(shù)據(jù)和高度數(shù)據(jù)，或者直接讀取記錄高度數(shù)據(jù)，然后，打開光刻機(jī)自動光刻模式，完成光刻工作；完成一步光刻加工程序后，需要光刻第二步加工程序時，再根據(jù)加工程序要求，調(diào)整或不調(diào)整加工的工件的位置；如果需要調(diào)整，重復(fù)第四、第五步驟；

（f）第六步，加工復(fù)位；如果加工程序中，需要水平旋轉(zhuǎn)工件，先松開鎖定支架，手動旋轉(zhuǎn)工件臺，同時觀察顯示屏顯示的坐標(biāo)數(shù)據(jù)，使坐標(biāo)變化到達(dá)旋轉(zhuǎn)的角度；然后安放鎖定支架鎖定位置；注意旋轉(zhuǎn)時，光源發(fā)生器的中心定位光點(diǎn)的位置坐標(biāo)不能有變化；加工完成后，松開鎖定支架，按存儲的初始坐標(biāo)位置，旋轉(zhuǎn)工件臺，同時觀察顯示屏顯示的坐標(biāo)數(shù)據(jù)復(fù)位到初始坐標(biāo)數(shù)據(jù)；如果加工程序中，需要水平移動工件，操作與旋轉(zhuǎn)復(fù)位類似；

（g）第七步，加工完成后，按照開啟順序依次關(guān)閉全部電源，取下加工好的工件，松開鎖定支架，拆卸工件臺和內(nèi)空心柱，以及光源發(fā)生器；最后，將以上部件和底座臺、鎖定支架放入專用卡具箱中。