[發(fā)明專利]一種拋光液加熱裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811036282.5 | 申請日： | 2018-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN109015351A | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪條英 | 申請（專利權(quán)）人： | 汪條英 |
| 主分類號： | B24B41/00 | 分類號： | B24B41/00;F24H9/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 314011 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光液 加熱裝置 輸送管 晶片拋光 加熱器 加熱控制器 溫度檢測器 拋光 環(huán)境溫度檢測器 管道出口處 有效實現(xiàn) 檢測 加熱 | ||
1.一種拋光液加熱裝置，包括拋光液輸送管；其特征是：在所述拋光液輸送管的末端設(shè)置用于對拋光液輸送管內(nèi)的拋光液進行加熱的拋光液加熱器，在拋光液輸送管的管道出口處設(shè)置用于檢測拋光液溫度的拋光液溫度檢測器，所述拋光液溫度檢測器以及拋光液加熱器均與加熱控制器連接，所述加熱控制器還與用于檢測拋光環(huán)境溫度的拋光環(huán)境溫度檢測器；
拋光環(huán)境溫度檢測器能向加熱控制器拋光環(huán)境溫度，拋光液溫度檢測器能向加熱控制器傳輸拋光液輸送管出口處的拋光液溫度，加熱控制器將拋光液溫度、拋光環(huán)境溫度與所述加熱控制器內(nèi)的拋光預置溫度比較，并控制拋光液加熱器的加熱狀態(tài)，直至使得拋光環(huán)境溫度與拋光預置溫度相一致。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括兩個用于對拋光液進行加熱的加熱板，所述加熱板間具有拋光液流動的加熱空隙，所述加熱板為半導體加熱器、電阻絲加熱器或水浴加熱器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括呈對稱分布的夾板，在所述夾板間設(shè)置若干用于對拋光液進行加熱的加熱柱。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括纏繞在拋光液輸送管上的加熱線圈或允許拋光液輸送管纏繞的加熱棒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液加熱器包括套在拋光液輸送管外的加熱介質(zhì)管，所述加熱介質(zhì)管與拋光液輸送管間具有與拋光液進行溫度交換的高溫加熱介質(zhì)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光液加熱裝置，其特征是：所述拋光液輸送管上還設(shè)有調(diào)整輸送管，所述調(diào)整輸送管與拋光液輸送管相連通，拋光液加熱器能對拋光液輸送管內(nèi)的拋光液以及調(diào)整輸送管內(nèi)的調(diào)整液體進行加熱。
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