[發(fā)明專利]一種具有V型槽的光伏電池及其制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811033465.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-09-05 |
| 公開(公告)號(hào): | CN109192797A | 公開(公告)日: | 2019-01-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 管先炳 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 蘇州錢正科技咨詢有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L31/0236 | 分類號(hào): | H01L31/0236;H01L31/0352;H01L31/18 |
| 代理公司: | 蘇州謹(jǐn)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人: | 仲崇明 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光伏電池 制備 上下表面 沉積 光電轉(zhuǎn)換效率 透明導(dǎo)電層 單晶硅片 非晶硅層 制絨處理 上表面 下表面 電極 氧化鋁 薄層 | ||
1.一種具有V型槽的光伏電池的制備方法,其特征在于:包括以下步驟:
1)提供一N型單晶硅片,對(duì)所述單晶硅片進(jìn)行雙面制絨處理,在所述單晶硅片的上表面和下表面均形成絨面層;
2)接著在所述N單晶硅片的上表面形成多個(gè)平行排列的第一V形槽,在所述單晶硅片的下表面形成多個(gè)平行排列的第二V形槽,所述第一V形槽的深度與所述N型單晶硅片的厚度的比值為0.65-0.75,所述第二條形溝槽的深度與所述N型單晶硅片的厚度的比值為0.65-0.75,多個(gè)所述第一V形槽和多個(gè)所述第二V形槽分別一一對(duì)應(yīng),所述第一V形槽的一個(gè)側(cè)面與對(duì)應(yīng)的所述第二V形槽的一個(gè)側(cè)面平行,所述第一V形槽與對(duì)應(yīng)的所述第二V形槽之間單晶硅層的厚度為40-60微米;
3)在所述N型單晶硅片的上表面和下表面各沉積一氧化鋁薄層;
4)接著在所述N型單晶硅片的上表面依次沉積第一本征非晶硅層和P型非晶硅層,;
5)接著在所述N型單晶硅片的下表面依次沉積第二本征非晶硅層和N型非晶硅層;
6)接著在所述N型單晶硅片的上表面沉積第一透明導(dǎo)電層;
7)接著在所述N型單晶硅片的下表面沉積第二透明導(dǎo)電層;
8)接著在所述N型單晶硅片的上表面形成正面電極;
9)接著在所述N型單晶硅片的下表面形成背面電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(2)中,所述第一V形槽以及所述第二V形槽的寬度均為1-2毫米,相鄰所述第一V形槽的間距1-2毫米,相鄰所述第二V形槽的間距為1-2毫米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(3)中,所述氧化鋁薄層的厚度為0.5-1.5納米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(4)中,所述第一本征非晶硅層的厚度為3-6納米,所述P型非晶硅層的厚度為5-8納米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(5)中,所述第二本征非晶硅層的厚度為7-10納米,所述N型非晶硅層的厚度為7-10納米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(6)和(7)中,述第一透明導(dǎo)電層和所述第二透明導(dǎo)電層均包括層疊的ITO層、金屬薄層、AZO層、石墨烯層以及ITO層,所述第一透明導(dǎo)電層和所述第二透明導(dǎo)電層的厚度為400-500納米。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有V型槽的光伏電池的的制備方法,其特征在于:在所述步驟(8)中,所述正面電極位于所述第一V形槽中;在所述步驟(9)中,所述背面電極位于所述第二V形槽中。
8.一種具有V型槽的光伏電池,其特征在于,采用權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的方法制備形成的。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





