[發明專利]多晶爐裝置

在審

• 申請號: 201811030339.0
• 申請日: 2018-09-05
• 公開（公告）號: CN110453281A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 楊佳穎;王若凡;江啟宏;蔡亞陸
• 申請（專利權）人: 友達晶材股份有限公司
• 主分類號: C30B28/06
• 分類號: C30B28/06;C30B29/06
• 代理公司: 11105 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陳小雯<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種多晶爐裝置，其特征在于，包括：

爐體，具有冷卻系統及至少一個加熱器；

隔熱組件，配置于該爐體內且該隔熱組件具有開口；

熔融組件，配置于該隔熱組件內，該熔融組件的底部對應該開口；

熱交換器，配置于該熔融組件的該底部；

開合機構，配置于該隔熱組件外且包括至少一擋板，該至少一擋板適于開啟或關閉，以暴露或隔絕該開口；以及

多孔板，配置于該熱交換器與開合機構之間，

其中，當該擋板開啟并暴露該隔熱組件的該開口時，該熔融組件所輻射的熱量自該熱交換器傳遞通過該多孔板，并到達該冷卻系統。

2.如權利要求1所述的多晶爐裝置，其中該隔熱組件至少包括上隔熱板、側隔熱板及下隔熱板，該上隔熱板位于該熔融組件的頂部，且該側隔熱板、該上隔熱板與該下隔熱板環繞在該熔融組件的外側，該下隔熱板位于該熱交換器下方，該多孔板設置于該下隔熱板與該熱交換器之間。

3.如權利要求2所述的多晶爐裝置，其中該下隔熱板包括多個第一穿孔及多個第二穿孔，該熱交換器包括多個支撐腳，該些支撐腳抵靠于該下隔熱板且分別對應該些第一穿孔，該些第二穿孔分別配置于該些第一穿孔之間。

4.如權利要求2所述的多晶爐裝置，其中該隔熱組件包括多個輔助隔熱材，該些輔助隔熱材抵靠于該下隔熱板與該熔融組件的該底部之間。

5.如權利要求1所述的多晶爐裝置，其中該至少一擋板包括兩個第一擋板及兩個第二擋板，該些第二擋板位于該些第一擋板與該多孔板之間，該兩個第一擋板沿著第一方向同步地相對遠離或相對靠近，該兩個第二擋板沿著垂直于該第一方向的第二方向同步地相對遠離或相對靠近。

6.如權利要求1所述的多晶爐裝置，其中該多孔板包括多個第一散熱孔及多個第二散熱孔，該些第一散熱孔設置在該多孔板的中央區域，該些第二散熱孔設置在該些第一散熱孔的外圍，且各該第二散熱孔的第二孔徑大于各該第一散熱孔的第一孔徑。

7.如權利要求1所述的多晶爐裝置，其中該冷卻系統包括流入管線、流出管線及散熱區，該散熱區分別連通該流入管線及該流出管線，且該散熱區位于該開合機構下方，冷卻水經由該流入管線進入該散熱區以吸收熱量，再由該流出管線離開該散熱區。

8.如權利要求8所述的多晶爐裝置，其中該冷卻系統包括換熱件，該換熱件配置于該散熱區上且對齊該多孔板。

9.如權利要求1所述的多晶爐裝置，其中該熔融組件包括：

承載件，包括至少一側板、底板及上蓋板；

坩鍋，位于該承載件內；以及

進氣管，連通該上蓋板，

其中，該熱交換器配置于該承載件的該底板與該多孔板之間。

10.一種多晶爐裝置，其特征在于，包括：

爐體，具有冷卻系統及至少一個加熱器；

隔熱組件，配置于該爐體內且該隔熱組件具有開口；

熔融組件，配置于該隔熱組件內，該熔融組件的底部對應該開口；

熱交換器，配置于該熔融組件的該底部；

開合機構，配置于該隔熱組件外且包括至少一擋板，該至少一擋板適于開啟或關閉，以暴露或隔絕該開口；以及

輔助隔熱材，鄰近該開口且位于該隔熱組件與該熔融組件之間，

其中，當該擋板開啟并暴露該隔熱組件的該開口時，該熔融組件所輻射的熱量自該熱交換器傳遞到達該冷卻系統。

11.如權利要求10所述的多晶爐裝置，其中該輔助隔熱材是軟性隔熱材質。

12.如權利要求10所述的多晶爐裝置，包括：

多孔板，配置于該熱交換器與該開合機構之間。