[發(fā)明專(zhuān)利]一種C3 有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811028295.8 | 申請(qǐng)日： | 2018-09-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109192655B | 公開(kāi)（公告）日： | 2023-08-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙興勇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 浙江西溪玻璃有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L21/02 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L21/02;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 杭州杭誠(chéng)專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人： | 尉偉敏 |
| 地址： | 313200 浙江省*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 base sub | ||
1.一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
C3N4的制備：取三聚氰胺于馬弗爐中，程序升溫至500-600℃并煅燒1-3h，得到石墨相C3N4，再將石墨相C3N4手動(dòng)研磨30-60min；
氧化鋅-C3N4的制備：稱(chēng)取步驟（1）中經(jīng)研磨后的石墨相C3N4加入到乙二醇中，超聲震蕩30-60min，得到C3N4分散液，將鋅鹽溶解于乙二醇中，得到含鋅溶液，將所述溶液加入到所述C3N4分散液中，混合均勻后采用微波水熱法進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)結(jié)束后將得到的混合溶液離心分離得到固體，將所述固體真空條件下干燥15-30h，得到所述氧化鋅-C3N4，即CZO粉末；
TCO玻璃的制備：稱(chēng)取步驟（2）中所述CZO粉末加入到乙二醇中，超聲分散2-5h，得到濃度為0.8-1.5mg/ml的CZO分散液，以硅片為襯底，把所述CZO分散液在勻膠機(jī)上進(jìn)行甩膠，得到所述TCO玻璃。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，步驟（1）中，所述程序升溫具體過(guò)程如下：以10-12℃/min的速率升溫至350-400℃并保持1-2h，再以10-12℃/min的速率升溫至500-600℃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，步驟（1）中，將三聚氰胺放置于坩堝中，且三聚氰胺的體積為坩堝容積的1/2-2/3，再將坩堝口用封閉后置于馬弗爐內(nèi)煅燒。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，步驟（2）中，所述鋅鹽選自硝酸鋅、氯化鋅、硫酸鋅或醋酸鋅中的任意一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，步驟（2）中，所述石墨相C3N4和鋅鹽的添加質(zhì)量比為1:15-25，所述C3N4分散液濃度為0.5-2mg/ml，所述含鋅溶液濃度為30-35mg/ml。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種C3N4改性的TCO玻璃的制備方法，其特征在于，步驟（2）中，所述微波水熱法反應(yīng)在壓力為180-200Mpa，溫度為180-230℃下進(jìn)行30-60min。
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
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