[發明專利]一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法及裝置

在審

• 申請號: 201811026559.6
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN109148338A
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 劉玉龍;賀賢漢;朱強健
• 申請（專利權）人: 杭州中芯晶圓半導體股份有限公司;上海申和熱磁電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海順華專利代理有限責任公司 31203
• 代理人: 顧蘭芳

1.一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于，包括：

步驟一，在儲備槽A加入室溫下的混酸280L-350L；

步驟二，通過添加氫氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，對儲備槽A中的混酸進行濃度調節，將混酸的質量分數調到氫氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；

步驟三，將腐蝕機中質量分數為氫氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸儲備槽B；

步驟四，將調節好濃度的混酸注入腐蝕機。

2.根據權利要求1所述的一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于：所述步驟一中儲備槽內加入室溫下的混酸300L。

3.根據權利要求1所述的一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于：所述步驟二中添加氫氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。

4.根據權利要求1所述的一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于：所述步驟二中對儲備槽A中的混酸進行濃度調節，將混酸的質量分數調到氫氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。

5.根據權利要求1所述的一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于：所述步驟三中，將腐蝕機中質量分數為氫氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸儲備槽B。

6.作為一種方案，一種提高腐蝕機混酸換液效率的方法，其特征在于：包括：

步驟一，在儲備槽A加入室溫下的混酸300L；

步驟二，通過添加氫氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L，對儲備槽A中的混酸進行濃度調節，將混酸的質量分數調到氫氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％；

步驟三，將腐蝕機中質量分數為氫氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸儲備槽B；

步驟四，將調節好濃度的混酸注入腐蝕機。

7.一種提高腐蝕機混酸換液效率的裝置，其特征在于：包括一腐蝕機，所述腐蝕機連接一混酸回收裝置，所述混酸回收裝置包括一儲備柜和一控制器，所述控制器分別控制連接所述腐蝕機和所述儲備柜，所述控制器還連接一藥液供給系統；

所述儲備柜中設有兩個用于存儲混酸溶液的儲備槽。