[發明專利]電子設備及其制造方法

有效

• 申請號: 201811024966.3
• 申請日: 2018-09-04
• 公開（公告）號: CN109904142B
• 公開（公告）日: 2023-06-06
• 發明（設計）人: 崔京洙
• 申請（專利權）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號: H01L23/528
• 分類號: H01L23/528;H01L21/768
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理有限公司 11363
• 代理人: 王建國;李琳

1.一種電子設備，其包括：

半導體存儲器，

其中，所述半導體存儲器包括：

多個存儲疊層，所述多個存儲疊層在第一方向和第二方向上彼此相鄰，所述第二方向與所述第一方向交叉；

多個第一內襯層，所述多個第一內襯層覆蓋在所述第二方向上彼此相鄰的存儲疊層的側壁，所述多個第一內襯層在所述第二方向上延伸；

多個第一氣隙，所述多個第一氣隙位于由所述第一內襯層覆蓋的空間中；以及

多個第二氣隙，所述多個第二氣隙位于在所述第一方向上彼此相鄰的每對存儲疊層之間，所述多個第二氣隙在所述第二方向上延伸，

其中，所述第一內襯層暴露出部分的所述多個存儲疊層。

2.根據權利要求1所述的電子設備，其中，所述第一氣隙中的每一個具有隔離的島形狀，并且所述第二氣隙中的每一個具有線性形狀。

3.根據權利要求1所述的電子設備，其中，所述第一內襯層暴露出所述多個存儲疊層的下部。

4.根據權利要求1所述的電子設備，其中，所述第二氣隙中的每一個的中心位于比所述第一氣隙中的每一個的中心更高的水平。

5.根據權利要求1所述的電子設備，還包括：

多個絕緣圖案，所述多個絕緣圖案位于在所述第一方向上彼此相鄰的每對存儲疊層之間，所述多個絕緣圖案分別在第二方向上延伸并且包括第二氣隙。

6.根據權利要求1所述的電子設備，其中，所述多個存儲疊層中的每一個順序地包括層疊在一起的下電極、開關材料、中間電極、可變電阻材料和上電極。

7.根據權利要求6所述的電子設備，其中，所述第一內襯層中的每一個覆蓋所述上電極的側壁、所述可變電阻材料的側壁以及所述中間電極的側壁，并且暴露出所述開關材料的側壁和所述下電極的側壁。

8.根據權利要求1所述的電子設備，還包括：

多個第二內襯層，所述多個第二內襯層覆蓋所述多個存儲疊層的相對側壁，所述相對側壁在所述第二方向上彼此面對。

9.一種電子設備，其包括：

半導體存儲器，

其中，所述半導體存儲器包括：

多個行線，所述多個行線在第一方向上延伸；

多個列線，所述多個列線在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸；

多個存儲單元，所述多個存儲單元分別位于所述行線和所述列線的交叉點處；

絕緣層，所述絕緣層位于所述行線和所述列線之間，所述絕緣層覆蓋所述存儲單元的側壁；

多個第一氣隙，所述多個第一氣隙位于所述絕緣層中并且位于在所述第二方向上彼此相鄰的每對存儲單元之間，所述第一氣隙中的每一個具有隔離的島形狀；

多個第二氣隙，所述多個第二氣隙位于所述絕緣層中并且位于在所述第一方向上彼此相鄰的每對存儲單元之間，所述第二氣隙中的每一個具有在所述第二方向上延伸的線性形狀，以及

覆蓋在所述第二方向上彼此相鄰的存儲單元的側壁的多個第一內襯層，所述多個第一內襯層在所述第二方向上并不連續、并隔離第一氣隙。

10.根據權利要求9所述的電子設備，其中，所述絕緣層包括：

多個絕緣圖案，所述多個絕緣圖案位于在所述第一方向上彼此相鄰的每對存儲單元之間，所述多個絕緣圖案分別在所述第二方向上延伸并且包括所述第二氣隙。

11.根據權利要求10所述的電子設備，其中，所述存儲單元中的每一個包括順序層疊的下電極、開關材料、中間電極、可變電阻材料和上電極。

12.根據權利要求11所述的電子設備，其中，所述第一內襯層中的每一個覆蓋所述上電極的側壁、所述可變電阻材料的側壁以及所述中間電極的側壁，并且暴露出所述開關材料的側壁和所述下電極的側壁。