[發明專利]一種芯片加工設備及其夾持裝置

在審

• 申請號: 201811020332.0
• 申請日: 2018-09-03
• 公開（公告）號: CN110873834A
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: 李家桐
• 申請（專利權）人: 天津市菲萊科技有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種夾持裝置，用于芯片加工設備，其特征在于，包括：

基板(100)，用于放置待加工芯片，且以其端部安裝于所述芯片加工設備的主體上；

印刷電路板(200)，鋪設于所述基板(100)之上，并與所述基板(100)固定連接；

溫度調節組件，設置于所述基板(100)與所述印刷電路板(200)之間，并根據夾持裝置的當前溫度與溫度閾值間的關系，為所述夾持裝置加熱或降溫；

蓋板組件(500)，其通過連接結構可開合地安裝于所述基板(100)；

探針(300)，其一端固接于所述蓋板組件(500)，另一端依次穿過所述印刷電路板(200)和所述溫度調節組件并抵靠于所述待加工芯片。

2.根據權利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述溫度調節組件包括布設有發熱電阻的熱源板(400)，所述熱源板(400)通過導線與外接電源電導通；

所述溫度調節組件還包括散熱結構；

所述基板(100)為鍍鉻金屬板或鍍金金屬板，且所述基板(100)形成所述散熱結構；

所述溫度調節組件還包括過溫保護器，所述過溫保護器設置于所述熱源板(400)與所述外接電源的電路上，且在夾持裝置的當前溫度高于警示溫度時，斷開所述熱源板(400)與所述外接電源之間的電連接。

3.根據權利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述蓋板組件(500)包括轉接板(501)和與所述轉接板(501)固定連接的定位板；

所述定位板的厚度方向上開設有若干過孔，所述探針(300)的一端固定于所述轉接板(501)，其另一端一一對應地穿過所述過孔；

所以定位板朝向所述基板(100)的方向開設有若干限位槽(503)，所述待加工芯片限位于所述限位槽(503)內；

所述限位槽(503)的數量大于八個，各所述限位槽(503)沿所述定位板的長度方向均勻布置；且/或，

所述蓋板組件(500)為四個，且兩兩一組分為兩組，其中一組所述蓋板組件(500)設置于所述印刷電路板(200)的一側，另一組所述蓋板組件(500)設置于所述印刷電路板(200)的另一側；

還包括安裝于所述基板(100)上的定位板，所述定位板與所述限位槽(503)圍成多個容置空間，各所述待加工芯片一一對應地限位于各所述容置空間內。

4.根據權利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述連接結構包括固接于所述基板(100)的導向塊(701)，和固接于所述蓋板組件(500)上的轉動軸(702)；

所述導向塊(701)開設有導槽(703)，所述轉動軸(702)嵌入所述導槽(703)內，并能夠在外力的作用下沿所述導槽(703)的導向方向滑動；

所述導槽(703)的導向方向為能夠使得所述蓋板組件(500)相對于所述基板(100)側向反轉的方向；

所述導槽(703)為開設于所述導向塊(701)內的L型槽體，所述L型槽體包括豎槽部分和與所述豎槽部分相連通的橫槽部分；

所述豎槽部分較所述橫槽部分靠近所述蓋板組件(500)，且所述豎槽部分的延伸方向與所述探針(300)的運動方向相同，所述橫槽部分的延伸方向與所述豎槽部分的延伸方向相垂直；

所述連接結構還包括翻轉驅動件(704)和壓合件(705)，所述翻轉驅動件(704)為所述蓋板組件(500)提供向遠離所述基板(100)的一側翻轉的外力，所述壓合件(705)為所述蓋板組件(500)提供向靠近所述基板(100)一側壓合的外力；

所述翻轉驅動件(704)為彈起彈簧，所述定位板上開設有通孔，所述彈起彈簧的一端固定于所述基板(100)，其另一端穿過所述通孔并與所述導向塊(701)固接；

所述翻蓋組件處于閉合狀態時，所述彈起彈簧處于壓縮狀態；

所述壓合件(705)包括螺釘和嵌設于所述螺釘內的復位彈簧；

所述螺釘旋入所述基板(100)，并與所述基板(100)可拆卸連接。

5.根據權利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述探針(300)包括針體(301)和位于所述針體(301)端部、且用于抵靠所述待加工芯片的固定頭，所述固定頭包括至少兩個固定爪(302)，相鄰兩所述固定爪(302)之間形成固定凹槽。