[發(fā)明專利]基于方箱的超精密X-Y氣浮平面定位平臺(tái)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811020124.0
• 申請日: 2018-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN108890324B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧志偉;張君安;劉波;黃鵬;董皓;方舟;李博
• 申請（專利權(quán)）人: 西安工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): B23Q1/62
• 分類號(hào): B23Q1/62;B23Q1/38
• 代理公司: 西安新思維專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.基于方箱的超精密X-Y氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：包括花崗石支承平臺(tái)（1），在所述花崗石支承平臺(tái)（1）上設(shè)置有超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）、X向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件和Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件，所述超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）為矩形框架結(jié)構(gòu)，超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）設(shè)置在?Y?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件內(nèi)可實(shí)現(xiàn)超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）的?Y?向氣浮運(yùn)動(dòng)，在所述超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）的外部套設(shè)所述X向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件，所述X向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件為矩形框架結(jié)構(gòu)，所述超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）與X向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件之間的四個(gè)接觸面均設(shè)有氣浮結(jié)構(gòu)薄膜，所述?X?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件的上端面設(shè)有?X?向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)組件和?X?向檢測定光柵組件，X?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件可在超?精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）上X向氣浮運(yùn)動(dòng)；

所述?X?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件包括?X?向上花崗石氣浮運(yùn)動(dòng)平板（4）、X?向下花崗石氣浮支承滑塊（13）,?X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）和?X?向右花崗石氣浮支承滑塊（17），X向上花崗石氣浮運(yùn)動(dòng)平板（4）、X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）,?X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）和X向右花崗石氣浮支承滑塊（17）圍成矩形框架結(jié)構(gòu)，在所述X向上花崗石氣浮運(yùn)動(dòng)平板（4）上端面設(shè)置有若干連接孔（18），X向上花崗石氣浮運(yùn)動(dòng)平板（4）下端面設(shè)置有多孔集成節(jié)流器（19），在?X?向上花崗石氣浮運(yùn)動(dòng)平板（4）內(nèi)設(shè)置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節(jié)流器（19）連通；在所述X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）的上端面設(shè)置有多孔集成節(jié)流器（19），X向下花崗石氣浮支承滑塊（13）內(nèi)設(shè)置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節(jié)流器（19）連通；在所述?X?向左花崗石氣浮支承滑塊（14）的內(nèi)側(cè)端面設(shè)置有多孔集成節(jié)流器（19），X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）內(nèi)設(shè)置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節(jié)流器（19）連通；在所述?X?向右花崗石氣浮支承滑塊（17）的內(nèi)側(cè)端面設(shè)置有多孔集成節(jié)流器（19），X向左花崗石氣浮支承滑塊（14）內(nèi)設(shè)置有供氣管路（20），供氣管路（20）與多孔集成節(jié)流器（19）連通；

所述Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件包括兩組對稱設(shè)置的?Y?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌單元，每組Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌單元均包括Y向下花崗石氣浮支承導(dǎo)軌（8）、Y向側(cè)面花崗石氣浮支承導(dǎo)軌和Y向上花崗石氣浮支承導(dǎo)軌（12），所述超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）設(shè)置在兩組Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌單元之間，超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）與兩組Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌單元的上下接觸面設(shè)有氣浮薄膜，所述Y向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌部件設(shè)有Y向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)組件（3）和Y向檢測定光柵組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述基于方箱的超精密X-Y氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：所述超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）兩端部的上、下端面及側(cè)端面均設(shè)置多孔集成節(jié)流器（19），在超精密花崗石基準(zhǔn)方箱（7）內(nèi)設(shè)置供氣管路（20），?供氣管路（20）與多孔集成節(jié)流器（19）連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述基于方箱的超精密?X-Y?氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：所述X?向檢測定光柵組件包括?X?向檢測定光柵尺（10）和?X?向檢測定光柵讀數(shù)頭（11）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述基于方箱的超精密?X-Y?氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：所述Y?向檢測定光柵組件包括?Y?向檢測定光柵尺（5）和?Y?向檢測定光柵讀數(shù)頭（6）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述基于方箱的超精密?X-Y?氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：所述X?向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)組件包括?X?向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)定子部件（15）和?X?向驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)動(dòng)子部件（16）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述基于方箱的超精密X-Y氣浮平面定位平臺(tái)，其特征在于：所述兩組對稱設(shè)置的?Y?向運(yùn)動(dòng)氣浮導(dǎo)軌單元之間設(shè)置有調(diào)整塊（2）。