[發(fā)明專利]超聲波指紋傳感器及其制備方法、應用在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201811015334.0 | 申請日： | 2018-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN108985280A | 公開（公告）日： | 2018-12-11 |
| 發(fā)明（設計）人： | 湯威;熊偉;余維嘉;范為;劉斌;向宇;羅健飛 | 申請（專利權）人： | 東莞新科技術研究開發(fā)有限公司深圳分公司 |
| 主分類號： | G06K9/00 | 分類號： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 逯恒 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市福田區(qū)福田街道益*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 制備 壓電陶瓷柱 基材 濕膜 固化 指紋傳感器 凹槽陣列 通孔陣列 超聲波 上表面 干膜 高分子材料 壓電陶瓷粉 壓電陶瓷體 上下表面 涂布干膜 壓電陶瓷 燒結 犧牲層 電極 漿料 刻蝕 良率 通孔 預設 去除 應用 制作 | ||
1.超聲波指紋傳感器的制備方法，其特征在于，包括下列步驟:
在基材的上表面刻蝕出一個凹槽陣列，在所述基材的上表面涂布干膜或濕膜；
在所述干膜或濕膜上制備通孔陣列，所述通孔陣列的分布與所述凹槽陣列一致，之后固化所述干膜或濕膜，形成犧牲層；
在所述固化之后，向所述凹槽和所述通孔中注入壓電陶瓷粉或壓電陶瓷漿料，之后燒結成壓電陶瓷體，形成壓電陶瓷柱陣列；
按照產品的要求，在所述壓電陶瓷柱陣列的空隙中注入預設的高分子材料，并固化；之后去除基材，在所述壓電陶瓷柱陣列的上下表面分別制作電極，得到產品。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述基材為硅片、碳化硅、氮化硅、金屬、陶瓷、玻璃或高分子樹脂，優(yōu)選硅片。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述通孔陣列通過蝕刻、沖壓、模壓或模切工藝制備。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，在所述注入壓電陶瓷粉或壓電陶瓷漿料之后和所述燒結之前還包括：
將與所述壓電陶瓷柱接觸面處的犧牲層去除，形成空氣間隙層，將金屬氧化物粉填入所述空氣間隙層。
5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述金屬氧化物粉為氧化鋁、氧化鋯或氧化鈦等高溫金屬氧化物粉末。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述制作電極的方法為：
在所述壓電陶瓷柱陣列的上下表面各做一層電極。
7.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述高分子材料為環(huán)氧樹脂或硅膠。
8.超聲波指紋傳感器，其特征在于，采用權利要求1-7任一項所述的制備方法制得。
9.根據權利要求8所述的超聲波指紋傳感器，其特征在于，所述超聲波指紋傳感器包括壓電陶瓷柱陣列，在所述壓電陶瓷柱陣列的上表面貼合有與所述壓電陶瓷柱相連的電極，在所述壓電陶瓷柱陣列的下表面貼合有與所述壓電陶瓷柱相連的電極。
10.權利要求8或9所述的超聲波指紋傳感器的采集指紋的應用。
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