[發明專利]電子束成像裝置有效
| 申請號： | 201811013857.1 | 申請日： | 2018-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN109273338B | 公開（公告）日： | 2021-09-17 |
| 發明（設計）人： | 劉進元;陳家堉 | 申請（專利權）人： | 深圳大學 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 葉劍 |
| 地址： | 518051 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子束 成像 裝置 | ||
1.一種電子束成像裝置，其特征在于，所述電子束成像裝置包括光電陰極、柵網、漂移管、微通道板、熒光屏、電荷耦合器件及至少兩個磁透鏡；
所述光電陰極、所述柵網及所述微通道板順序排列在所述漂移管內，所述熒光屏及所述電荷耦合器件順序排列在所述微通道板背向所述柵網的一側，所述熒光屏及所述電荷耦合器件設置于所述漂移管外，且所述光電陰極、所述柵網、所述微通道板、所述熒光屏和所述電荷耦合器件對齊設置；
所述至少兩個磁透鏡滑動套設于所述漂移管外；每個磁透鏡的長度小于等于25cm。
2.根據權利要求1所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述微通道板上設置有若干條互相平行的微帶陰極。
3.根據權利要求2所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述光電陰極包括玻璃基板以及設置在所述玻璃基板上的若干條互相平行的金屬微帶。
4.根據權利要求3所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述光電陰極上的金屬微帶的數量與所述微通道板上的微帶陰極的數量相同。
5.根據權利要求4所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述微通道板上設置有三條互相平行的微帶陰極；所述玻璃基板上設置有三條互相平行的金屬微帶。
6.根據權利要求4所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述金屬微帶為表面鍍金的鋁金屬微帶。
7.根據權利要求1至6中任一項所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述光電陰極和所述微通道板分別具有圓形側面，所述光電陰極的圓形側面與所述微通道板的圓形側面相對設置，所述微通道板的圓形側面半徑小于或等于所述光電陰極的圓形側面半徑。
8.根據權利要求1至6中任一項所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述電子束成像裝置包括三個到五個磁透鏡。
9.根據權利要求1至6中任一項所述的電子束成像裝置，其特征在于，所述漂移管的長度大于等于為45厘米。
10.根據權利要求1至6中任一項所述的電子束成像裝置，其特征在于，每個所述磁透鏡包括柱狀內殼、繞設于所述內殼外的線圈、以及包覆于所述線圈外的軟鐵殼，所述內殼沿長度方向的中間位置開設有環形間隙。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于深圳大學，未經深圳大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201811013857.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
