[發明專利]晶圓清洗回收機

在審

• 申請號: 201811007977.0
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN108987315A
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 王昌華
• 申請（專利權）人: 江蘇英銳半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 常州市權航專利代理有限公司 32280
• 代理人: 袁興隆

本發明涉及半導體制造附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種晶圓清洗回收機，降低設備故障率，負荷小；提高攪拌效率；添加回收晶圓和清洗液過程較簡單；包括筒體、一組第一攪拌葉、第一擋蓋、第二擋蓋和第一傳動軸，進入口處和出料口處分別設置有第一擋蓋和第二擋蓋，筒體上方設置有電機，第一傳動軸下半區域設置有一組第一攪拌葉；還包括工作箱、第一齒輪、第二齒輪和第二傳動軸，電機輸出端設置有第二傳動軸；還包括上齒輪、下齒輪、上鏈條、下鏈條、左齒輪、右齒輪、左安裝箱、右安裝箱、左連接桿、右連接桿和一組第二攪拌葉；還包括掛鉤、支撐塊、固定銷、下壓桿、受力環、一組固定板、中心轉軸、下連接桿和一組定位擋板。

技術領域

本發明涉及半導體制造附屬裝置的技術領域，特別是涉及一種晶圓清洗回收機。

背景技術

眾所周知，晶圓清洗回收機是一種用于晶圓回收過程中，對回收晶圓清洗的設備，其在半導體制造的領域中得到了廣泛的使用；現有的晶圓清洗回收機包括筒體、一組第一攪拌葉、第一擋蓋、第二擋蓋和第一傳動軸，筒體內部設置有清洗腔，筒體左側壁上半區域和右側壁下半區域分別設置有旋轉口、進入口和出料口，進入口處和出料口處分別設置有第一擋蓋和第二擋蓋，第一擋蓋和第二擋蓋均螺裝至筒體，旋轉口、進入口和出料口均與清洗腔連通，筒體上方設置有電機，電機輸出端設置有第一傳動軸，第一傳動軸穿過旋轉口進入筒體內部，第一傳動軸下半區域設置有一組第一攪拌葉；現有的晶圓清洗回收機使用時，第一擋蓋螺裝至進入口處，使用者通過進入口將回收晶圓和清洗液加入筒體內部，使用將電機通電，電能轉化為電機的動能，從而帶動第一傳動軸轉動，進而帶動一組第一攪拌葉轉動，清洗液和回收晶圓混合接觸，清洗液將回收晶圓表面雜質清理干凈，清洗后，使用者打開第二擋蓋，清洗后物料通過出料口排出；現有的晶圓清洗回收機使用中發現，設備故障率較高，負荷大，使用可靠性較低；攪拌效率較低，需要長時間攪拌，工作效率較低；添加回收晶圓和清洗液過程較復雜，使用局限性較高。

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供一種的降低設備故障率，負荷小，提高使用可靠性；提高攪拌效率，縮短攪拌時間，提高工作效率；添加回收晶圓和清洗液過程較簡單，降低使用局限性的晶圓清洗回收機。