[發(fā)明專利]光刻機控制系統(tǒng)和方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201811004518.7
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN110874020A
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設計）人: 王偉;李蒙
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，包括系統(tǒng)控制卡、運動控制卡、數(shù)據(jù)接口卡、交換卡、多通道功率放大控制器、電機驅動器、傳感器信號板、位置測量單元和上位機；

所述系統(tǒng)控制卡、運動控制卡、數(shù)據(jù)接口卡和交換卡通過VPX總線連接，用于數(shù)據(jù)流傳輸；

所述系統(tǒng)控制卡、運動控制卡、數(shù)據(jù)接口卡和交換卡通過以太網連接所述上位機，用于命令處理；

所述系統(tǒng)控制卡、運動控制卡和數(shù)據(jù)接口卡連接有同步總線，用于同步系統(tǒng)控制卡、運動控制卡和數(shù)據(jù)接口卡的時鐘基準信號；

所述數(shù)據(jù)接口卡通過所述多通道功率放大控制器的某通道連接電機驅動器，所述電機驅動器連接光刻機運動臺的電機；

所述傳感器信號板與數(shù)據(jù)接口卡連接或者通過多通道功率放大控制器的某通道與數(shù)據(jù)接口卡連接，所述傳感器信號板連接有傳感器；

所述位置測量單元包括與VPX總線連接的光柵尺信號處理卡和光柵尺信號采集卡，所述光柵尺信號處理卡與數(shù)據(jù)接口卡連接，所述光柵尺信號采集卡連接有光柵尺。

2.一種光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，包括系統(tǒng)控制卡、運動控制卡交換卡、多通道功率放大控制器、電機驅動器、傳感器信號板、位置測量單元和上位機；

所述系統(tǒng)控制卡、運動控制卡和交換卡通過VPX總線連接，用于數(shù)據(jù)流傳輸；

所述系統(tǒng)控制卡、交換卡和交換卡通過以及網連接所述上位機，用于命令處理；

所述系統(tǒng)控制卡和運動控制卡連接有同步總線，用于同步系統(tǒng)控制卡和運動控制卡的時鐘基準信號；

所述運動控制卡通過所述多通道功率放大控制器的某通道連接電機驅動器，所述電機驅動器連接光刻機運動臺的電機；

所述傳感器信號板與運動控制卡連接或者通過多通道功率放大控制器的某通道與運動控制卡連接，所述傳感器信號板連接有傳感器；

所述位置測量單元包括與VPX總線連接的光柵尺信號處理卡和光柵尺信號采集卡，所述光柵尺信號處理卡與運動控制卡連接，所述光柵尺信號采集卡連接有光柵尺。

3.如權利要求1所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)接口卡與多通道功率放大控制器、數(shù)據(jù)接口卡和/或光柵尺信號處理卡通過光纖連接。

4.如權利要求2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述運動控制卡與多通道功率放大控制器和/或光柵尺信號處理卡通過光纖連接。

5.如權利要求1或2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括控制機箱，所述控制機箱包括VPX背板，所述系統(tǒng)控制卡、運動控制卡、數(shù)據(jù)接口卡和交換卡安裝在所述VPX背板上。

6.如權利要求1或2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括與VPX總線連接的同步時鐘信號卡，所述同步時鐘信號卡通過系統(tǒng)控制卡連接同步總線。

7.如權利要求1或2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)控制卡包括微處理器和FPGA，與微處理器連接有網口、同步信號接口、隨機存儲器和可編程可擦除只讀存儲器或者閃存，所述微處理器連接以太網，所述微處理器通過網口連接因特網，所述微處理器通過同步信號接口連接外同步信號，F(xiàn)PGA與同步總線連接，所述FPGA還連接有隨機存儲器。

8.如權利要求1或2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，運動控制卡包括微處理器和FPGA，與微處理器連接有隨機存儲器和可編程可擦除只讀存儲器或者閃存，微處理器連接有以太網，與FPGA連接有隨機存儲器和光模塊，所述FPGA連接VPX總線和同步總線。

9.如權利要求1所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，數(shù)據(jù)接口卡包括FPGA及與其連接的隨機存儲器和光模塊，所述FPGA連接有VPX總線、以太網和同步總線，所述光模塊通過光線與多通道功率放大控制器或者傳感器信號板連接。

10.如權利要求1或2所述的光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，交換卡包括微處理器及與其連接的以太網交換器、SRIO交換器，所述以太網交換器與以太網連接，所述SRIO交換器與VPX總線連接。