[發明專利]物理量及復合傳感器、慣性測量單元、電子設備及移動體有效
| 申請號： | 201810996247.1 | 申請日： | 2018-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN109425755B | 公開（公告）日： | 2022-08-09 |
| 發明（設計）人： | 田中悟 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/08 | 分類號： | G01P15/08;G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 張永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 物理量 復合 傳感器 慣性 測量 單元 電子設備 移動 | ||
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具備：
可動體，包括旋轉軸、與所述旋轉軸連接并沿與所述旋轉軸交叉的交叉方向設置的連結部以及與所述連結部連接的質量部；
檢測電極，設置于支承基板上，與所述質量部相對；以及
突起，設置于設有所述檢測電極的區域，從所述支承基板朝向所述質量部突出，
在所述交叉方向上，當將從所述連結部與所述質量部的連接位置到所述質量部的與所述旋轉軸相反一側的端部的距離設為L，且將從所述突起到所述質量部的與所述旋轉軸相反一側的端部的距離設為L1時，L1為0.18L以上且0.88L以下；其中
所述突起相對于在所述旋轉軸的軸線方向上將所述可動體二等分的中心線呈線對稱設置。
2.根據權利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于，
所述突起設有多個，且設置于與所述旋轉軸平行的直線上。
3.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，
所述質量部相對于所述旋轉軸呈線對稱配置有兩個，
所述突起相對于所述旋轉軸呈線對稱設置。
4.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，
所述質量部具有呈格子狀貫通的開口，
所述突起設置于與呈兩行兩列的四個開口的中心對應的位置。
5.根據權利要求1或2所述的物理量傳感器，其特征在于，
所述可動體具有形成于所述連結部與所述質量部之間的狹縫，
所述連結部根據所述狹縫而延長。
6.一種復合傳感器，其特征在于，具備：
權利要求1至5中任一項所述的物理量傳感器；以及
角速度傳感器。
7.一種慣性測量單元，其特征在于，具備：
權利要求1至5中任一項所述的物理量傳感器；
角速度傳感器；以及
控制部，對所述物理量傳感器及所述角速度傳感器進行控制。
8.一種便攜式電子設備，其特征在于，具備：
權利要求1至5中任一項所述的物理量傳感器；
殼體，收容有所述物理量傳感器；
處理部，收容于所述殼體，對從所述物理量傳感器輸出的輸出數據進行處理；
顯示部，收容于所述殼體；以及
透光性罩，堵塞所述殼體的開口部。
9.一種電子設備，其特征在于，具備：
權利要求1至5中任一項所述的物理量傳感器；以及
控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進行控制。
10.一種移動體，其特征在于，具備：
權利要求1至5中任一項所述的物理量傳感器；以及
控制部，基于從所述物理量傳感器輸出的檢測信號進行控制。
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