[發明專利]一種帶梯形脊肋陣列的微散熱器有效
| 申請號： | 201810993974.2 | 申請日： | 2018-08-29 |
| 公開（公告）號： | CN109346444B | 公開（公告）日： | 2020-05-05 |
| 發明（設計）人： | 王瑞金;袁魏佳;劉湘琪;朱澤飛 | 申請（專利權）人： | 杭州電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L23/367 | 分類號： | H01L23/367;H01L23/473 |
| 代理公司： | 浙江千克知識產權代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 梯形 陣列 散熱器 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶梯形脊肋陣列的微散熱器，包括上基板和下基板，所述上基板和下基板鍵合在一起，其特征在于，所述上基板上設有進口和出口，所述上基板上刻蝕出分流槽、上梯形脊肋陣列和合流槽；所述下基板上刻蝕出分流槽、下梯形脊肋陣列和合流槽；所述下基板與熱源接觸；所述上基板上的分流槽和下基板上的分流槽位置對應，組成完整分流槽，所述上基板上的合流槽和下基板上的合流槽位置對應，組成完整合流槽；所述上基板的上梯形脊肋陣列和下基板的下梯形脊肋陣列在行和列上均交錯排列組成完整梯形脊肋陣列；所述完整合流槽、完整分流槽和完整梯形脊肋陣列形成通道，冷卻工質從進口導入，經過該通道，從出口導出。
2.根據權利要求1所述的一種帶梯形脊肋陣列的微散熱器，其特征在于，所述上基板設置有一個或若干個進口。
3.根據權利要求1所述的一種帶梯形脊肋陣列的微散熱器，其特征在于，所述上基板設置有一個或若干個出口。
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