[發(fā)明專利]亞微米結(jié)構(gòu)超薄氧化鋁陶瓷基片及制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201810993607.2
• 申請日: 2018-08-29
• 公開（公告）號: CN108947504A
• 公開（公告）日: 2018-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙學(xué)國;朱肖華;熊兆榮
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門朝瓷科技有限公司
• 主分類號: C04B35/111
• 分類號: C04B35/111;C04B35/622;C04B35/638
• 代理公司: 廈門龍格專利事務(wù)所(普通合伙) 35207
• 代理人: 鐘毅虹

1.亞微米結(jié)構(gòu)超薄氧化鋁陶瓷基片，其特征在于：含有質(zhì)量份數(shù)為：99.6份純度大于99.99％的納米氧化鋁粉，0.05～0.15份的MgO、0.1～0.2份的Y₂O₃、0.1～0.2份的ZrO₂；陶瓷密度不小于3.9g/cm³，晶粒尺寸介于0.5～1μm之間，彎曲強(qiáng)度大于600MPa。

2.一種制造權(quán)利要求1所述的亞微米結(jié)構(gòu)超薄氧化鋁陶瓷基片的制備方法，其特征在于，它包括以下幾個步驟：

(1)漿料的制備：將質(zhì)量份數(shù)為99.6份純度為99.99％的納米氧化鋁粉、0.3～1份的Mg(NO₃)₂6H₂O、0.3～0.8份的Y(NO₃)₃6H₂O和0.3～0.6份的ZrOCl₂8H₂O放入球磨機(jī)中，加入去離子水和氧化鋯研磨球，使用氨水調(diào)節(jié)pH至9，以最終獲取0.05～0.15份的MgO、0.1～0.2份的Y₂O₃、0.1～0.2份的ZrO₂；再加入2份聚丙烯酸銨分散劑，進(jìn)行球磨，制備固含量為50～60％的漿料；將球磨后的漿料中加入20～30份的高分子量聚乙烯醇膠粘劑、1份油酸和200份去離子水，繼續(xù)球磨獲得均勻分散的漿料；

(2)干燥脫水：將漿料倒入油浴鍋內(nèi)，在攪拌作用下于100～130℃下脫水2～4小時，形成含水率約為20～30％陶瓷泥團(tuán)；

(3)粗軋：將上述陶瓷泥團(tuán)放入軋膜機(jī)的兩輥之間，經(jīng)多次軋壓后形成約1mm厚的生坯膜帶；

(4)精軋成型：將粗軋得到的膜帶邊沿切掉，然后逐次縮小精軋機(jī)對輥間的間隙，由厚到薄對膜帶逐次進(jìn)行軋壓，提高膜帶相對密度至50～55％，并得到0.2～0.6mm厚度的超薄型氧化鋁陶瓷制品毛坯；

(5)沖壓：將精軋后的膜帶置入沖片機(jī)上進(jìn)行沖壓，得到所需形狀及尺寸的生坯片；以利于規(guī)模化生產(chǎn)和產(chǎn)品外形尺寸一致性；

(6)排膠：將上述生坯片夾在兩多孔陶瓷片間于1100～1200℃溫度下進(jìn)行素?zé)?/p>

(7)燒結(jié)：將上述素?zé)瑠A在兩高溫鉬板之間于1500～1550℃下在氫氣氣氛下進(jìn)行燒結(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的亞微米結(jié)構(gòu)超薄氧化鋁陶瓷基片，其特征在于：所述步驟2中使用的Al₂O₃粉末純度大于99.99％，顆粒粒徑為100～200nm，比表面積為12～20m²/g。